گیرنده با پوشش CVD TaC

تعریف و ترکیب محصول

VETEK CVD TaC Coated Susceptor یک جزء حامل ویفر سطح بالا است که به طور خاص برای پردازش همپایه نیمه هادی نسل سوم (SiC، GaN، AlN) استفاده می شود. این محصول مزایای فیزیکی دو ماده با کارایی بالا را ترکیب می کند:

بستر گرافیت با خلوص بالا: از فرآیند قالب گیری پرس ایزواستاتیک استفاده می کند تا اطمینان حاصل شود که بستر دارای استحکام ساختاری برتر، چگالی بالا و پایداری پردازش حرارتی است.

پوشش CVD TaC: یک لایه محافظ متراکم و بدون تنش کاربید تانتالم (TaC) بر روی سطح گرافیت از طریق فناوری پیشرفته رسوب بخار شیمیایی (CVD) رشد می کند.

مزایای فنی اصلی: سازگاری فوق العاده با محیط

در فرآیند MOCVD، پوشش TaC نه تنها یک لایه محافظ فیزیکی است، بلکه هسته ای برای اطمینان از تکرارپذیری فرآیند است:

تحمل دماهای بسیار بالا: TaC دارای نقطه ذوب تا 3880 درجه سانتیگراد است که پایداری شکل عالی را حتی در فرآیندهای اپیتاکسیال با دمای فوق العاده بالا بالای 1600 درجه سانتیگراد حفظ می کند.

مقاومت در برابر خوردگی عالی: در محیط های احیا کننده قوی حاوی NH3 (آمونیاک) یا H2 (هیدروژن)، نرخ خوردگی TaC بسیار کم است و به طور موثر از هدر رفتن بستر و بارش ناخالصی جلوگیری می کند.

ضمانت خلوص فوق العاده بالا: خلوص پوشش به اندازه 99.9995٪ است. ساختار متراکم آن کاملاً ریز منافذ گرافیت را می‌بندد و اطمینان می‌دهد که لایه همپایی به سطوح ناخالصی بسیار پایینی می‌رسد.

توزیع میدان حرارتی دقیق: فناوری کنترل پوشش بهینه VETEK تضمین می کند که اختلاف دمای سطح گیرنده در ± 2 درجه سانتیگراد کنترل می شود و به طور قابل توجهی ضخامت و ثبات طول موج لایه همپای ویفر را بهبود می بخشد.

پارامترهای فنی

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:

فیلدهای برنامه اصلی

SiC (سیلیکون کاربید) رشد اپیتاکسیال: از تولید دستگاه های قدرت SiC 6 اینچی، 8 اینچی و سایز بزرگتر پشتیبانی می کند.

دستگاه های مبتنی بر GaN (نیترید گالیوم).: در فرآیندهای MOCVD برای LED های با روشنایی بالا، دستگاه های برق HEMT و تراشه های RF استفاده می شود.

AlN (نیترید آلومینیوم) و رشد UVC: راه حل های حامل با دمای بسیار بالا (1400 درجه سانتیگراد +) را برای مواد باندگپ فوق عریض مانند LED های UV عمیق ارائه می دهد.

پشتیبانی تحقیقاتی سفارشی: سازگار با نیازهای سفارشی سازی دقیق موسسات تحقیقاتی برای قطعات نامنظم مختلف و دیسک های چند سوراخه.

مدل‌های سازگار و خدمات سفارشی‌سازی

VETEK دارای قابلیت‌های پردازش مکانیکی و پوشش دقیق است که کاملاً با تجهیزات اصلی جهانی MOCVD سازگار است:

AIXTRON: از دیسک ها و پایگاه های چرخش سیاره های مختلف پشتیبانی می کند.

ویکو: از سری های K465i، Propel و دیگر سری های susceptor عمودی پشتیبانی می کند.

AMEC و دیگران: قطعات جایگزین یا راه حل های ارتقای کاملاً سازگار را ارائه می دهد.