حلقه روکش TAC

حلقه پوشش داده شده Veteksemi TAC یک مؤلفه با کارایی بالا است که برای فرآیندهای تولید نیمه هادی تنظیم شده است. روکش منحصر به فرد طراحی شده Tantalum Carbide (TAC) به محصول می دهد مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری مکانیکی ، به طور قابل توجهی باعث بهبود عمر و قابلیت اطمینان اجزای گرافیتی در تجهیزات نیمه هادی می شود.

عملکرد برتر پوشش های کاربید Tantalum

● مقاومت در برابر دمای فوق العاده بالا: پوشش های TAC به راحتی می توانند در برابر دمای شدید تا 2200 درجه سانتیگراد مقاومت کنند و در محیط های شوک حرارتی که در تولید نیمه هادی مشترک است ، پایدار بمانند.

stary ثبات شیمیایی عالی: این پوشش مقاومت شدیدی در برابر گازهای خورنده متداول مانند هیدروژن ، آمونیاک ، سیلین و سیلیکون نشان می دهد و به طور موثری از بستر در برابر حمله شیمیایی محافظت می کند.

properties خصوصیات مکانیکی عالی: پوشش TAC از سختی بالایی ، مقاومت در برابر سایش زیاد و مقاومت در برابر شوک حرارتی خوب برخوردار است و می تواند برای مدت طولانی در شرایط سخت کار پایدار عمل کند.

● چسبندگی عالی: پوشش به شدت به بستر گرافیت متصل می شود ، به طور موثری مانع از لایه برداری از پوشش و اطمینان از عملکرد مداوم در طول عمر خدمات محصول می شود.

● خلوص بالا: پوشش TAC تهیه شده توسط CVD دارای خلوص بسیار بالایی است ، که معرفی ناخالصی ها را به حداقل می رساند و یک محیط فرآیند تمیز را برای تولید نیمه هادی فراهم می کند.

مزایای حلقه های روکش شده با کاربید Tantalum:

li عمر تجهیزات گسترده: پوشش TAC به طور موثری واکنشهای شیمیایی و انتشار ناخالصی را مسدود می کند ، به طور قابل توجهی عمر خدمات اجزای گرافیتی و کاهش هزینه های نگهداری را گسترش می دهد.

● بازده تولید را بهبود بخشید: مقاومت در برابر دمای بالای محصول و مقاومت در برابر خوردگی آن را قادر می سازد در شرایط خواستارتر ، کوتاه شود ، چرخه تولید و افزایش ظرفیت تولید را انجام دهد.

● بهبود کیفیت محصول: پوشش TAC با خلوص بالا به کاهش آلودگی ، اطمینان از کیفیت و قوام محصولات نیمه هادی کمک می کند.

نیمه هادی Vetek در محصولات پوشش TAC از جمله تخصص داشته استپوشش TAC چاک, صفحه چرخش پوشش TAC, زیر پوشش پوشش TAC, TAC پوشش ویفر ویفرسالها محصولات حلقه ای با پوشش TAC ما عملکردهای طولانی مدت تجهیزات ، بهبود راندمان تولید و بهبود کیفیت محصول را دارند. در همین زمان ، نیمه هادی Vetek مدتهاست که متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. 

با توجه به خصوصیات شیمیایی مختلف مواد گرافیت و کاربید تانتالوم ، ضریب انبساط حرارتی مطابقت نخواهد داشت و به راحتی می توان با استفاده از یک فرایند خاص از طریق یک فرآیند خاص از طریق یک فرآیند خاص برای ترویج پوشش کاربید تانتالوم که تا حدودی بر روی سطح MATRIX رسوب می شود ، گرم شود و تا حدی نفوذ کند. به این ترتیب ، پوشش کاربید Tantalum از طریق رشد در بخش در ماتریس گرافیت محکم در توخالی است ، که به طور قابل توجهی نیروی اتصال بین پوشش و ماتریس را افزایش می دهد و به طور موثری مانع از لایه برداری از پوشش کاربید Tantalum می شود. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.

مغازه های حلقه ای روکش شده کاربید Tantalum: