سر دوش sic

نیمه هادی Vetek سر دوش SIC پیشرفته را به صنعت نیمه هادی ارائه می دهد. مواد کاربید سیلیکون دارای ترکیبی منحصر به فرد از خواص حرارتی ، الکتریکی و شیمیایی عالی هستند و آنها را برای کاربردهای موجود در صنعت نیمه هادی که در آن به مواد با کارایی بالا نیاز است ، ایده آل می کند. نیمه هادی Vetek تجربه طولانی در فناوری SIC جامد CVD را تجربه کرده است. فناوری انقلابی نیمه هادی Vetek ، تولید سر دوش SIC ، یک ماده کاربید سیلیکون با خلوص فوق العاده بلند را که از طریق فرآیند رسوب بخار شیمیایی ایجاد شده است ، امکان پذیر می کند.

سر دوش SIC یک مؤلفه مهم در ساخت نیمه هادی است ، که به طور خاص برای سیستم های MOCVD ، Epitaxy سیلیکون طراحی شده است.باکرهفرآیندهای epitaxyبشر ساخته شده از قویکاربید سیلیکون جامد (sic)، این مؤلفه می تواند در برابر شرایط شدید پردازش پلاسما و برنامه های درجه حرارت بالا مقاومت کند.

کاربید سیلیکون (SIC)به دلیل هدایت حرارتی بالا ، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و استحکام مکانیکی استثنایی شناخته شده است و آن را به یک ماده ایده آل برای اجزای SIC فله مانند سر دوش SIC تبدیل می کند. سر دوش گاز حتی توزیع گازهای فرآیند را بر روی سطح ویفر تضمین می کند ، که برای تولید لایه های اپیتاکسیال با کیفیت بالا ضروری است. حلقه های تمرکز و حلقه های لبه ، که اغلب از CVD-SIC ساخته شده است ، توزیع یکنواخت پلاسما را حفظ کرده و محفظه را از آلودگی محافظت می کند ، باعث افزایش کارایی و عملکرد رشد اپیتاکسی می شود.

سر دوش SIC با کنترل دقیق جریان گاز و خصوصیات برجسته مواد ، یک مؤلفه اصلی در پردازش نیمه هادی مدرن است که از برنامه های پیشرفته در اپیتاکس سیلیکون و اپیتاکس SIC پشتیبانی می کند.

نیمه هادی Vetek یک سر دوش نیمه هادی کاربید سیلیکون سینتر شده با مقاومت کم ارائه می دهد. ما توانایی مهندس و عرضه سفارشی را داریممواد سرامیکی پیشرفتهبا استفاده از انواع قابلیت های منحصر به فرد.