فرآیند رسوب بخار شیمیایی حلقه لبه جامد جامد

CVD فرآیند حلقه لبه جامد SIC:

● مادی: حلقه فوکوس از SIC جامد ، خلوص بالا و مواد سرامیکی با کارایی بالا ساخته شده است. این توسط رسوب بخار شیمیایی تهیه می شود. ماده SIC جامد دوام استثنایی ، مقاومت در برابر درجه حرارت بالا و خصوصیات مکانیکی عالی را فراهم می کند.

●  مزایا: حلقه CVD SIC ثبات حرارتی فوق العاده ای را ارائه می دهد ، و یکپارچگی ساختاری خود را حتی در شرایط درجه حرارت بالا که در فرآیندهای اچ خشک مشاهده می شود ، حفظ می کند. سختی بالا آن مقاومت در برابر استرس و سایش مکانیکی را تضمین می کند و منجر به افزایش عمر خدمات می شود. علاوه بر این ، SIC جامد ، بی تحرک شیمیایی را نشان می دهد ، از آن در برابر خوردگی محافظت می کند و عملکرد آن را با گذشت زمان حفظ می کند.

پوشش CVD SIC:

●  مادی: پوشش CVD SIC یک رسوب فیلم نازک از SIC با استفاده از تکنیک های رسوب بخار شیمیایی (CVD) است. این پوشش بر روی یک ماده بستر مانند گرافیت یا سیلیکون اعمال می شود تا خواص SIC به سطح ارائه شود.

●  مقایسه: در حالی که پوشش های CVD SIC مزایایی را ارائه می دهند ، مانند رسوب همبستگی بر روی شکل های پیچیده و خواص فیلم قابل تنظیم ، ممکن است با استحکام و عملکرد SIC جامد مطابقت نداشته باشند. ضخامت پوشش ، ساختار کریستالی و زبری سطح می تواند بر اساس پارامترهای فرآیند CVD متفاوت باشد ، به طور بالقوه بر دوام و عملکرد کلی پوشش تأثیر می گذارد.

به طور خلاصه ، حلقه تمرکز SIC جامد نیمه هادی Vetek یک انتخاب استثنایی برای برنامه های اچ خشک است. مواد SIC جامد آن ، مقاومت در برابر درجه حرارت بالا ، سختی عالی و عدم تحرک شیمیایی را تضمین می کند و آن را به یک راه حل قابل اعتماد و ماندگار تبدیل می کند. در حالی که پوشش CVD SIC انعطاف پذیری را در رسوب ارائه می دهد ، حلقه SIC CVD در ارائه دوام و عملکرد بی نظیر مورد نیاز برای خواستار فرآیندهای اچ خشک ، برتری دارد.

خصوصیات فیزیکی sic جامد