سپر و شاتر کوارتز مات با خلوص بالا برای MOCVD

1. مشخصات فنی

ما ماشینکاری با دقت بالا را بر اساس نقشه های فنی شما ارائه می دهیم تا از تناسب کامل با مدل های تجهیزات خاص شما اطمینان حاصل کنیم.

2. زمینه های برنامه اصلی

● حفاظت از فرآیند MOCVD: به عنوان سپرهای داخلی ضروری برای محافظت از محیط واکنش.

● اپیتاکسی نیمه هادی: به عنوان دریچه های با دقت بالا برای تثبیت جریان و دما در طول رشد لایه نازک استفاده می شود.

● تولید نیمه هادی با فاصله باند وسیع: سازگار با محیط های پر تقاضا برای GaN و سایر مواد پیشرفته.

3. چرا راه حل های کوارتز VETEK را انتخاب کنید؟

● مدیریت پرتوهای حرارتی برتر: کوارتز سفید شیری ما حاوی تراکم بالایی از حباب های ریز است که به طور موثر پرتوهای حرارتی با دمای بالا (> 1000 درجه سانتیگراد) را پراکنده و مسدود می کند. نور مرئی و نزدیک به مادون قرمز را از عناصر گرمایش جذب می کند و آن را به تشعشعات مادون قرمز دور تبدیل می کند و گرمایش بسیار یکنواخت را تضمین می کند.
● کنترل آلودگی و نگهداری آسانکوارتز شیلد به عنوان یک پوشش داخلی قربانی یا قابل تعویض، با جلوگیری از رسوب محصول جانبی بر روی دیوارهای محفظه و بخاری های گران قیمت، محفظه واکنش را تمیز نگه می دارد. این قطعات را می توان از طریق تمیز کردن مرطوب (مانند محلول های SPM+DHF) بازسازی کرد یا به راحتی جایگزین کرد تا از بازده ویفر بالا اطمینان حاصل شود.
● مقاومت شیمیایی شدیدکوارتز VETEK برای مقاومت در برابر چرخه حرارتی مکرر و مقاومت در برابر خوردگی آلی فلزی (مانند TMGa) و هیدریدها (مانند AsH3) مهندسی شده است.
● کنترل فرآیند دقیق: کرکره های کوارتز ما پایداری ابعادی بالایی را تحت گرمایش مادون قرمز یا رشته ای حفظ می کنند. اینرسی حرارتی کم آنها امکان پاسخ مکانیکی سریع را فراهم می کند، کنترل دقیق رشد "سطح اتمی" و جلوگیری از آلودگی متقابل در طول چند ویفر یا سوئیچینگ چند فرآیندی را امکان پذیر می کند.
● جایگزین مقرون به صرفه: برای پروژه هایی با الزامات بودجه سخت، محصولات کوارتز ما نقطه ورود قابل اعتمادی را در مقایسه با گرافیت پوشش داده شده ارائه می دهند و حفاظت و عملکرد ضروری را برای سیستم های MOCVD ارائه می دهند.