قایق گرافیتی برای PECVD

برنامه: قایق گرافیت Veteksemicon برای PECVD یک جزء اصلی در فرآیند رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته با پلاسما است. این به طور خاص برای رسوب نیترید سیلیکون با کیفیت بالا، اکسید سیلیکون و سایر لایه های نازک روی ویفرهای سیلیکونی، نیمه هادی های ترکیبی و بسترهای صفحه نمایش طراحی شده است. عملکرد آن به طور مستقیم یکنواختی فیلم، ثبات فرآیند و هزینه تولید را تعیین می کند.

خدمات قابل ارائه: تجزیه و تحلیل سناریو برنامه مشتری، مواد تطبیق، حل مشکلات فنی.

مشخصات شرکت：Veteksemicon دارای 2 آزمایشگاه، تیمی از کارشناسان با 20 سال تجربه مواد، با قابلیت تحقیق و توسعه و تولید، آزمایش و تأیید است.

اطلاعات کلی محصول

شرایط کسب و کار محصول

فیلدهای برنامه اصلی

قایق گرافیت Veteksemicon برای مزایای اصلی PECVD

1. بسترهای با خلوص بالا، کنترل آلودگی از منبع

ما اصرار داریم که از گرافیت با خلوص بالا فشرده ایزواستاتیک با خلوص پایدار بیش از 99.995٪ به عنوان ماده پایه استفاده کنیم تا اطمینان حاصل کنیم که ناخالصی های فلزی را حتی در یک محیط کار مداوم 1600 درجه سانتیگراد رسوب نمی دهد. این نیاز مواد سختگیرانه می تواند مستقیماً از تخریب عملکرد ویفر ناشی از آلودگی حامل جلوگیری کند و اساسی ترین تضمین را برای رسوب فیلم های نیترید سیلیکون یا اکسید سیلیکون با کیفیت بالا ارائه دهد.

2. میدان حرارتی دقیق و طراحی ساختاری برای اطمینان از یکنواختی فرآیند

از طریق شبیه‌سازی سیال گسترده و داده‌های اندازه‌گیری فرآیند، ما زاویه شکاف قایق، عمق شیار راهنمای و مسیر جریان گاز را بهینه کرده‌ایم. این ملاحظات ساختاری دقیق، توزیع یکنواخت گازهای راکتیو را بین ویفرها امکان پذیر می کند. اندازه‌گیری‌های واقعی نشان می‌دهند که در بار کامل، انحراف یکنواختی ضخامت لایه بین ویفرها در همان دسته را می‌توان به طور پایدار در محدوده ± 1.5٪ کنترل کرد و به طور قابل‌توجهی بازده محصول را بهبود بخشید.

3. راه حل های پوشش سفارشی برای رسیدگی به خوردگی فرآیند خاص

برای پاسخگویی به محیط‌های مختلف گاز فرآیندی مشتریان مختلف، ما دو گزینه پوشش بالغ ارائه می‌کنیم: کربن پیرولیتیک و کاربید سیلیکون. اگر به طور عمده نیترید سیلیکون را رسوب دهید و از تمیز کردن هیدروژن استفاده کنید، پوشش متراکم کربن پیرولیتیک می تواند مقاومت عالی در برابر فرسایش پلاسمای هیدروژن ایجاد کند. اگر فرآیند شما شامل گازهای پاک کننده حاوی فلوئور است، پوشش کاربید سیلیکون با سختی بالا انتخاب بهتری است. این می تواند عمر مفید قایق گرافیتی را در محیط های بسیار خورنده به بیش از سه برابر محصولات معمولی بدون پوشش افزایش دهد.

4. پایداری شوک حرارتی عالی، سازگار با چرخه های دمایی مکرر

به لطف فرمول منحصر به فرد گرافیتی و طراحی دنده های تقویت کننده داخلی، قایق های گرافیتی ما می توانند در برابر شوک های مکرر خنک کننده و گرمایش سریع فرآیند PECVD مقاومت کنند. در آزمایش‌های آزمایشگاهی دقیق، پس از 500 چرخه حرارتی سریع از دمای اتاق تا 800 درجه سانتی‌گراد، میزان حفظ استحکام خمشی قایق همچنان از 90% فراتر رفت و به طور موثری از ترک‌خوردگی ناشی از تنش حرارتی جلوگیری کرد و تداوم و ایمنی تولید را تضمین کرد.

5. تأیید صحت زنجیره زیست محیطی

قایق گرافیت Veteksemicon برای تأیید زنجیره زیست محیطی PECVD مواد خام را برای تولید پوشش می دهد، گواهی استاندارد بین المللی را گذرانده است و دارای تعدادی فناوری ثبت شده برای اطمینان از قابلیت اطمینان و پایداری آن در زمینه های نیمه هادی و انرژی های جدید است.

برای مشخصات فنی دقیق، کاغذهای سفید یا ترتیبات آزمایش نمونه، لطفاً با تیم پشتیبانی فنی ما تماس بگیرید تا بررسی کنید که چگونه Veteksemicon می تواند کارایی فرآیند شما را افزایش دهد.