اخبار صنعت

در ساخت نیمه هادی ، انواع مختلفی از محصولات اجزای سرامیکی نیمه هادی مورد نیاز است. این محصولات به دلیل ویژگی های مختلف در سناریوهای مختلف تولید استفاده می شوند تا عملکردهای مربوطه خود را بازی کنند. آنها محصولات ضروری در صنعت پردازش نیمه هادی هستند.

Tantalum Carbide (TAC) یک ماده سرامیکی با کارایی بالا است که به دلیل سختی بسیار زیاد ، نقطه ذوب بالا و ثبات شیمیایی عالی شناخته شده است. این ماده به طور گسترده ای در نیمه هادی ، هوافضا و سایر صنایع مورد استفاده قرار می گیرد که نیاز به گرمای شدید ، سایش و مقاومت در برابر خوردگی دارند. در این مقاله به تفصیل ساختار ، خصوصیات فیزیکی و کاربردهای خاص از محصول نهایی در ساخت نیمه هادی مورد تجزیه و تحلیل قرار خواهد گرفت.

صفحه سرامیکی متخلخل SIC یکی از مواد اصلی در زمینه تولید نیمه هادی است. دیسک سرامیکی متخلخل با ساختار منحصر به فرد و خصوصیات فیزیکی عالی خود ، به یک مؤلفه کلیدی غیر قابل تعویض در محیط های درجه حرارت بالا و خورنده تبدیل شده است. در این مقاله ، ما عمیقاً خصوصیات بدنی ، سناریوهای کاربردی و مزایای انتخاب آن را به طور عمیق تجزیه و تحلیل خواهیم کرد.

قایق کوارتز یک مؤلفه باربری کلیدی است که در فرآیند تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. این ماده به طور عمده برای پردازش درجه حرارت بالا از ویفرها ، مانند انتشار ، اکسیداسیون و بازپخت استفاده می شود. ثبات حرارتی عالی آن ، خصوصیات آلودگی کم و مقاومت در برابر خوردگی آن را به یک ماده ضروری در صنعت نیمه هادی تبدیل می کند. در این مقاله در مورد مواد ، خصوصیات فیزیکی ، طبقه بندی ، سناریوهای کاربردی قایق کوارتز و تفاوتهای آن از قایق گرافیتی PECVD توضیح داده شده است.

ماده اصلی قایق گرافیتی PECVD ماده گرافیتی ایزوتروپیک با خلوص بالا است (خلوص معمولاً 9999 99 ٪ است) که دارای هدایت الکتریکی عالی ، هدایت حرارتی و چگالی است. در مقایسه با قایق های گرافیتی معمولی ، قایق های گرافیتی PECVD دارای بسیاری از مزایای خاصیت فیزیکی و شیمیایی هستند و عمدتاً در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک به ویژه در فرآیندهای PECVD و CVD استفاده می شوند.

سینی های گرافیتی MOCVD نقش مهمی در فرآیند epitaxial دارند. در این مقاله ، تجزیه و تحلیل مفصلی در مورد انتخاب سینی های گرافیتی MOCVD از منظر خصوصیات مواد و سناریوهای کاربردی ارائه شده است.