اخبار صنعت

پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) مواد اضافی و عیوب سطحی را از طریق عمل ترکیبی واکنش های شیمیایی و سایش مکانیکی حذف می کند. این یک فرآیند کلیدی برای دستیابی به مسطح سازی جهانی سطح ویفر است و برای اتصالات مسی چندلایه و ساختارهای دی الکتریک کم k ضروری است. در ساخت عملی

دوغاب پرداخت CMP (Chemical Mechanical Planarization) ویفر سیلیکونی یک جزء حیاتی در فرآیند تولید نیمه هادی است. این نقش اساسی در حصول اطمینان از اینکه ویفرهای سیلیکونی - که برای ایجاد مدارهای مجتمع (ICs) و ریزتراشه‌ها استفاده می‌شوند - تا سطح صافی دقیق مورد نیاز برای مراحل بعدی تولید صیقل داده می‌شوند.

در تولید نیمه هادی، مسطح سازی مکانیکی شیمیایی (CMP) نقش حیاتی ایفا می کند. فرآیند CMP اقدامات شیمیایی و مکانیکی را برای صاف کردن سطح ویفرهای سیلیکونی ترکیب می‌کند و پایه‌ای یکنواخت برای مراحل بعدی مانند رسوب لایه نازک و اچ کردن فراهم می‌کند. دوغاب پرداخت CMP، به عنوان جزء اصلی این فرآیند، به طور قابل توجهی بر راندمان پرداخت، کیفیت سطح و عملکرد نهایی محصول تأثیر می گذارد.

دوغاب پرداخت ویفر CMP یک ماده مایع با فرمول خاص است که در فرآیند CMP تولید نیمه هادی استفاده می شود. از آب، اچ‌کننده‌های شیمیایی، مواد ساینده و سورفکتانت‌ها تشکیل شده است که هم حکاکی شیمیایی و هم پولیش مکانیکی را ممکن می‌سازد.

ساینده های کاربید سیلیکون معمولاً با استفاده از کوارتز و کک نفتی به عنوان مواد اولیه اولیه تولید می شوند. در مرحله آماده سازی، این مواد برای رسیدن به اندازه ذرات مورد نظر قبل از اینکه از نظر شیمیایی با بار کوره تناسب پیدا کنند، تحت پردازش مکانیکی قرار می گیرند.

طی چند سال گذشته، مرحله مرکزی فناوری بسته بندی به تدریج به یک فناوری به ظاهر قدیمی - CMP (صیقل مکانیکی شیمیایی) واگذار شده است. هنگامی که Hybrid Bonding به نقش اصلی نسل جدید بسته‌بندی پیشرفته تبدیل می‌شود، CMP به تدریج از پشت صحنه به کانون توجه می‌رود.