اخبار صنعت

در دنیای همیشه در حال تحول لوازم خانگی و آشپزخانه، یک محصول اخیراً به دلیل نوآوری و کاربرد عملی آن توجه قابل توجهی را به خود جلب کرده است - سطل ترموس کوارتز

محصولات کوارتز به دلیل خلوص زیاد ، مقاومت در دمای بالا و ثبات شیمیایی قوی ، در فرآیند تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند.

کوره های رشد کریستالی کاربید سیلیکون (SIC) نقش مهمی در تولید ویفرهای SIC با کارایی بالا برای دستگاه های نیمه هادی نسل بعدی دارند. با این حال ، فرایند رشد کریستال های SIC با کیفیت بالا چالش های قابل توجهی را نشان می دهد. از مدیریت شیب های حرارتی شدید گرفته تا کاهش نقص کریستال ، اطمینان از رشد یکنواخت و کنترل هزینه های تولید ، هر مرحله به راه حل های پیشرفته مهندسی نیاز دارد. در این مقاله چالش های فنی کوره های رشد کریستال SIC از دیدگاه های مختلف مورد تجزیه و تحلیل قرار خواهد گرفت.

Smart Cut یک فرآیند تولید نیمه هادی پیشرفته مبتنی بر کاشت یون و سلب ویفر است که به طور خاص برای تولید ویفرهای فوق العاده نازک و بسیار یکنواخت 3C-SIC (کاربید سیلیکون مکعب) طراحی شده است. این ماده می تواند مواد کریستالی فوق العاده نازک را از یک بستر به دیگری منتقل کند ، در نتیجه محدودیت های بدنی اصلی را بشکند و کل صنعت بستر را تغییر دهد.

در تهیه بسترهای کاربید سیلیکون با کیفیت بالا و با بازده بالا ، هسته نیاز به کنترل دقیق دمای تولید توسط مواد میدان حرارتی خوب دارد. در حال حاضر ، کیت های قابل حمل میدان حرارتی که عمدتا مورد استفاده قرار می گیرد ، اجزای ساختاری گرافیتی با خلوص بالا هستند که عملکرد آنها گرم کردن پودر کربن مذاب و پودر سیلیکون و همچنین برای حفظ گرما است.

وقتی نیمه هادی های نسل سوم را می بینید ، مطمئناً تعجب خواهید کرد که نسل های اول و دوم چیست. "نسل" در اینجا بر اساس مواد مورد استفاده در ساخت نیمه هادی طبقه بندی می شود.

چاک الکترواستاتیک (ESC) ، همچنین به عنوان چاک الکترواستاتیک (ESC ، E-Chuck) شناخته می شود ، یک فیکسچر است که از اصل جذب الکترواستاتیک برای نگه داشتن و رفع مواد جذب شده استفاده می کند. برای محیط های خلاء و پلاسما مناسب است.

حامل های ویفر SIC ، به عنوان مواد مصرفی اصلی در زنجیره صنعت نیمه هادی نسل سوم ، ویژگی های فنی آنها به طور مستقیم بر عملکرد رشد اپیتاکسیال و تولید دستگاه تأثیر می گذارد. با افزایش تقاضا برای دستگاه های با ولتاژ بالا و درجه حرارت بالا در صنایعی مانند ایستگاه های پایه 5G و وسایل نقلیه انرژی جدید ، اکنون تحقیق و کاربرد حامل های ویفر SIC با فرصت های توسعه قابل توجهی روبرو هستند.

سرامیک آلومینا "اسب کار" برای تولید اجزای سرامیکی است. آنها خصوصیات مکانیکی عالی ، نقاط ذوب فوق العاده بالا و سختی ، مقاومت در برابر خوردگی ، پایداری شیمیایی قوی ، مقاومت بالا و عایق الکتریکی برتر را نشان می دهند. آنها معمولاً برای ساخت صفحات جلا دادن ، چاک های خلاء ، بازوهای سرامیکی و قسمت های مشابه استفاده می شوند.

مواد نیمه هادی را می توان به ترتیب زمانی به سه نسل طبقه بندی کرد. نسل اول از مواد ابتدایی متداول مانند ژرمانیوم و سیلیکون تشکیل شده است که با تعویض راحت مشخص می شوند و به طور کلی در مدارهای یکپارچه استفاده می شوند. نیمه هادی های ترکیبی نسل دوم مانند گالیم آرسنید و ایندیم فسفید عمدتاً در مواد درخشان و ارتباطی مورد استفاده قرار می گیرند.

دستگاه های کوارتز نقش مهمی در تولید سلول های خورشیدی دارند و مقاومت حرارتی استثنایی ، خلوص شیمیایی و پایداری ساختاری مورد نیاز در فرآیندهای درجه حرارت بالا را ارائه می دهند. از لوله های انتشار کوارتز و صلیب گرفته تا قایق های کوارتز و اجزای کوره ، این مواد با خلوص بالا برای دستیابی به کارآیی بهینه در مراحل انتشار ، CVD و اچینگ مرطوب ضروری هستند.

پوشش TAC تقریباً با جدا کردن تماس مستقیم بین گرافیت Crucible و ذوب SIC ، پدیده کپسوله سازی کربن را از بین می برد و به طور قابل توجهی چگالی نقص میکروتوب ها را کاهش می دهد

سرامیک Sic یک ماده سرامیکی است که با واکنش عناصر سیلیکون (SI) و کربن (C) تولید می شود و دارای سختی بسیار بالایی ، مقاومت در برابر گرما و پایداری شیمیایی است

در دنیای پرشور ساخت نیمه هادی ، دقت و پایداری همه چیز است-و این جایی است که چاک الکترواستاتیک (ESC) قدم می گذارد. بسیار بیشتر از یک ابزار نگهدارنده ، ESC از نیروهای الکترواستاتیک استفاده می کند تا در طی فرآیندهای مهم مانند اچ ، رسوب و کاشت یون ، ویفرها را به طور ایمن ببندد. اما چگونه واقعاً کار می کند؟ چرا نسبت به بستن مکانیکی سنتی برتر است؟ و چه نقشی در دستیابی به دقت نانو و راندمان توان دارد؟ خوش آمدید به خواندن

اصل DeChuck از چاک الکترواستاتیک بخش مهمی از گردش کار آن است که شامل حذف نیروی الکترواستاتیک و مکانیسم های انتشار ویفر است.

کربن شیشه ای یک کربن غیر گرا است که ترکیب خواص شیشه و سرامیک است. این خصوصیات بسیاری از قبیل مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی ، هدایت الکتریکی خوب و غیره دارد. این وبلاگ تاریخ تحقیق و روند توسعه آینده کربن شیشه ای را که ارزش خواندن دارد ، تجزیه و تحلیل می کند.