اخبار صنعت

کشف کنید که چگونه پوشش CVD TaC رشد کریستال SiC را در کوره های PVT با کاهش آلودگی کربن، محافظت از اجزای گرافیت، افزایش عمر مفید و افزایش کیفیت کریستال برای ساخت نیمه هادی های پیشرفته بهبود می بخشد.

کشف کنید که چرا پوشش CVD TaC به راه حل محافظ ترجیحی برای اجزای گرافیت نیمه هادی تبدیل شده است. با مزایا، کاربردهای آن در رشد کریستال SiC، GaN MOCVD، و حامل های ویفر و چگونگی بهبود دوام، خلوص و ثبات فرآیند آشنا شوید.

بیاموزید که چگونه حلقه‌های گرافیتی با پوشش کربن پیرولیتیک (PyC) پایداری حرارتی را بهبود می‌بخشند، آلودگی را کاهش می‌دهند و عمر اجزا را در رشد کریستال SiC، اپیتاکسی، CVD و فرآیندهای نیمه‌رسانا در دمای بالا افزایش می‌دهند.