پوشش Tantalum Carbide TAC چیست؟ - Veteksemicon

Tantalum Carbide (TAC) چیست؟

مواد سرامیکی Tantalum Carbide (TAC) دارای نقطه ذوب حداکثر 3880 است و ترکیبی با نقطه ذوب بالا و ثبات شیمیایی خوب است. این می تواند عملکرد پایدار را در محیط های درجه حرارت بالا حفظ کند. علاوه بر این ، همچنین از مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و سازگاری شیمیایی و مکانیکی خوب با مواد کربن برخوردار است و آن را به یک ماده پوشش محافظ بستر گرافیتی ایده آل تبدیل می کند. 

Tantalum carbide coatingمی تواند به طور موثری اجزای گرافیت را از اثرات آمونیاک داغ ، هیدروژن ، بخار سیلیکون و فلز مذاب در محیط های استفاده سخت محافظت کند ، به طور قابل توجهی عمر خدمات اجزای گرافیتی را گسترش داده و سرکوب مهاجرت ناخالصی ها در گرافیت را تضمین می کند و از کیفیت آن اطمینان می دهدوابسته به عمل جراحیوترشد کریستالی.

شکل 1. اجزای روکش شده با کاربید Tantalum مشترک

تهیه پوشش TAC توسط فرآیند CVD

رسوب بخار شیمیایی (CVD) بالغ ترین و بهینه ترین روش برای تولید پوشش های TAC در سطوح گرافیتی است.

با استفاده از TACL5 و پروپیلن به عنوان منابع کربن و تانتالوم ، و آرگون به عنوان گاز حامل ، بخار TACL5 با درجه حرارت بالا تبخیر شده به محفظه واکنش وارد می شود. در دمای و فشار هدف ، بخار مواد پیشرو در سطح گرافیت جذب می شود ، که تحت یک سری واکنشهای شیمیایی پیچیده مانند تجزیه و ترکیبی از منابع کربن و تانتالوم و همچنین مجموعه ای از واکنشهای سطحی مانند انتشار و دفع محصولات جانبی پیشرو قرار دارد. سرانجام ، یک لایه محافظ متراکم بر روی سطح گرافیت تشکیل می شود ، که از گرافیت از وجود پایدار در شرایط محیطی شدید محافظت می کند و سناریوهای کاربردی مواد گرافیتی را به طور قابل توجهی گسترش می دهد.

شکل 2.اصل رسوب بخار شیمیایی (CVD) اصل فرآیند

برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد اصول و روند تهیه پوشش CVD TAC ، لطفاً به مقاله مراجعه کنید:چگونه می توان پوشش CVD TAC را تهیه کرد؟

چرا Veteksemicon را انتخاب کنید؟

نیمه نیمهبه طور عمده محصولات کاربید Tantalum را فراهم می کند: حلقه راهنمای TAC ، سه حلقه گلبرگ پوشش داده شده ،پوشش TAC Crucible، پوشش TAC گرافیت متخلخل به طور گسترده ای فرآیند رشد کریستال SIC است. گرافیت متخلخل با پوشش TAC ، حلقه راهنمای پوشش داده شده TAC ،حامل ویفر گرافیت با روکش TAC، مستعار پوشش TAC ،حساس کننده سیاره، و این محصولات پوشش کاربید Tantalum به طور گسترده ای در آن استفاده می شوندفرآیند اپیتاکسی sicوتفرآیند رشد کریستال تک sic.

شکل 3.دامنمحبوب ترین محصولات پوشش کاربید Tantalum نیمه هادی EK