کارآزمایی انتهایی ویفر

Wafer Handling End Effector نوعی از دست ربات است که به طور خاص برای صنعت نیمه هادی طراحی شده است ، که معمولاً برای کنترل و انتقال استفاده می شودویفرهابشر محیط تولید ویفرها به پاکیزگی بسیار بالایی نیاز دارد ، زیرا ذرات ریز یا آلاینده ها می توانند باعث خرابی تراشه ها در هنگام پردازش شوند. 

مواد سرامیکی به دلیل خاصیت عالی فیزیکی و شیمیایی آنها به طور گسترده ای در ساخت این دست ها مورد استفاده قرار می گیرد.

خلوص و ترکیب

خلوص آلومینا معمولاً 99.9 ٪ است و ناخالصی های فلزی (مانند MGO ، CAO ، SIO₂) برای بهبود مقاومت در برابر اچ پلاسما در 0.05 ٪ تا 0.8 ٪ کنترل می شوند.

آلومینای فاز α (ساختار Corundum) اصلی است ، نوع کریستال پایدار است ، چگالی 3.98 گرم در سانتی متر مربع است و چگالی واقعی پس از پخت و پز 3.9 ~ 3.9 گرم در سانتی متر است.

خاصیت مکانیکی

سختی: Mohs Hardness 9 ~ 9.5 ، سختی ویکرز 1800 ~ 2100 HV ، بالاتر از فولاد ضد زنگ و آلیاژ.

قدرت خمش: 300 ~ 400 مگاپاسکال ، که می تواند در برابر استرس مکانیکی دست زدن به سرعت بالا ویفر مقاومت کند.

مدول الاستیک: 380 ~ 400 GPA ، برای اطمینان از اینکه بازوی جابجایی سفت و سخت است و تغییر شکل آن آسان نیست.

خواص حرارتی و الکتریکی

هدایت حرارتی: 30 ~ 30 w/(m · k) ، هنوز هم عایق پایدار (مقاومت> 10⁴ Ω · سانتی متر) را حفظ می کند.

مقاومت دما: دمای استفاده طولانی مدت می تواند به 850 ~ 850 برسد ، مناسب برای محیط درجه حرارت بالا.

مشخصه

زبری سطح: RA≤ 0.2μm (پس از پرداخت) برای جلوگیری از خراش ویفر

تخلخل جذب خلاء: ساختار توخالی حاصل از فشار ایزوستاتیک ، تخلخل <0.5 ٪.

دوم ، ویژگی های طراحی ساختاری

بهینه سازی سبک و قدرت

با استفاده از یک فرآیند قالب گیری یکپارچه ، وزن فقط 1/3 بازوی فلزی است و خطای موقعیت یابی ناشی از اینرسی را کاهش می دهد.

کارآیی نهایی به عنوان یک گیربکس یا جاذب خلاء طراحی شده است و سطح تماس با یک پوشش آنتی استاتیک پوشانده شده است تا از آلودگی ویفر 710 با جذب الکترواستاتیک جلوگیری شود.

مقاومت در برابر آلودگی

آلومینای خلوص بالا از نظر شیمیایی بی اثر است ، یونهای فلزی را آزاد نمی کند و از استاندارد پاکیزگی نیمه F47 (آلودگی ذرات <10 ppm) مطابقت دارد.

سوم ، الزامات فرآیند تولید

تشکیل و پخت

فشار ایزوستاتیک (فشار 200 ~ 300 مگاپاسکال) برای اطمینان از چگالی مواد> 99.5 ٪.

پخت و پز درجه حرارت بالا (1800 ℃ 1600) ، کنترل اندازه دانه در 5 μ 5 میکرومتر برای تعادل استحکام و چقرمگی.

ماشینکاری دقیق

پردازش سنگ زنی الماس ، دقت ابعادی ± 0.01 میلی متر ، صافی ≤ 0.05 میلی متر در متر

نیمه نیمه فروشگاه های محصولات: