چاک های سرامیکی متخلخل

چاک های سرامیکی متخلخل ارائه شده توسط Veteksemicon از کاربید متخلخل سیلیکون متخلخل (SIC) ساخته شده است ، این چاک سرامیکی جریان گاز یکنواخت ، صافی عالی و پایداری حرارتی را در شرایط خلاء بالا و دما تضمین می کند. این ایده برای سیستم های بستن خلاء ، جایی که دست زدن به ویفر بدون ذرات ، بدون تماس ، ایده آل است.

ⅰ خصوصیات اصلی مواد و مزایای عملکرد

1. هدایت حرارتی عالی و مقاومت دما

کاربید سیلیکون هدایت حرارتی بالایی (120-200 W/m · K) را ارائه می دهد و می تواند در برابر دمای عملیاتی بالاتر از 1600 درجه سانتیگراد مقاومت کند ، و باعث می شود چاک برای اچینگ پلاسما ، پردازش پرتو یونی و فرآیندهای رسوب با درجه حرارت بالا ایده آل شود.

نقش: از بین رفتن گرمای یکنواخت ، کاهش جنگ ویفر و بهبود یکنواختی فرآیند اطمینان می دهد.

2. مقاومت مکانیکی برتر و مقاومت در برابر سایش

ریزساختار متراکم SIC سختی استثنایی چاک (> 2000 HV) و دوام مکانیکی را برای تکرار چرخه بارگذاری/تخلیه ویفر و محیط های فرآیند سخت ضروری می بخشد.

نقش: طول عمر چاک را در حالی که ثبات بعدی و دقت سطح را حفظ می کند ، طولانی می کند.

3. تخلخل کنترل شده برای توزیع خلاء یکنواخت

ساختار متخلخل ریز تنظیم شده سرامیک ، مکش خلاء مداوم را در سطح ویفر امکان پذیر می کند و از قرار دادن ویفر ایمن با حداقل آلودگی ذرات اطمینان حاصل می کند.

نقش: سازگاری اتاق تمیز را تقویت می کند و پردازش ویفر بدون آسیب را تضمین می کند.

4. مقاومت شیمیایی عالی

عدم تحرک SIC به گازهای خورنده و محیط های پلاسما ، از چاک در برابر تخریب در هنگام اچ یونی واکنشی یا تمیز کردن شیمیایی محافظت می کند.

نقش: فرکانس خرابی و تمیز کردن را به حداقل می رساند و هزینه عملیاتی را کاهش می دهد.

ⅱ خدمات شخصی سازی و پشتیبانی Veteksemicon

در Veteksemicon ، ما طیف کاملی از خدمات متناسب را برای پاسخگویی به خواسته های دقیق تولید کنندگان نیمه هادی ارائه می دهیم:

● هندسه سفارشی و طراحی اندازه منافذ: ما در اندازه ها ، ضخامت ها و تراکم های منافذ به مشخصات تجهیزات و نیازهای خلاء ، چاک هایی را ارائه می دهیم.

ation نمونه سازی سریع چرخش سریع: زمان سرب کوتاه و پشتیبانی تولید MOQ کم برای R&D و خطوط آزمایشی.

service خدمات قابل اعتماد پس از فروش: از راهنمایی نصب تا نظارت بر چرخه عمر ، ما از ثبات عملکرد طولانی مدت و پشتیبانی فنی اطمینان حاصل می کنیم.

ⅲ برنامه

تجهیزات اچینگ و پردازش پلاسما

comples کاشت یون و اتاق های آنیونی

strays سیستم های پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP)

platform های اندازه گیری و بازرسی

● سیستم های نگهدارنده و بستن خلاء در محیط های تمیز

فروشگاه محصولات Vekekemeicon: