بخاری روکش TAC

بخاری پوشش TAC یک عنصر گرمایش با کارایی بالا است که به طور گسترده در فرآیندهای تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. سطح آن با مواد کاربید تانتالوم (TAC) پوشش داده شده است ، که به بخاری مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و هدایت حرارتی عالی می دهد.

کاربردهای اصلی بخاری پوششی TaC در تولید نیمه هادی عبارتند از:

 ✔ در طی فرآیند رشد اپیتاکسیال گالیم نیترید (GAN) ، بخاری پوشش TAC یک محیط با دمای بالا دقیقاً کنترل شده را فراهم می کند تا اطمینان حاصل شود که لایه اپیتاکسیال با سرعت یکنواخت و با کیفیت بالا روی بستر قرار می گیرد. خروجی گرمای پایدار آن به دستیابی به کنترل دقیق مواد فیلم نازک کمک می کند و از این طریق عملکرد دستگاه را بهبود می بخشد.

 علاوه بر این، در فرآیند رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD)، همراه با مقاومت دمایی بالا و رسانایی حرارتی پوشش TaC، معمولاً از بخاری پوششی TaC برای گرم کردن گاز واکنش استفاده می‌شود و با ارائه توزیع یکنواخت حرارت، آن را تامین می‌کند. واکنش شیمیایی خود را بر روی سطح بستر ترویج می کند، در نتیجه یکنواختی لایه اپیتاکسیال را بهبود می بخشد و یک فیلم با کیفیت بالا تشکیل می دهد.

 ✔ به عنوان یک رهبر صنعت در محصولات بخاری پوشش TAC ، Vetek Semiconducto همیشه از خدمات شخصی سازی محصول و قیمت های رضایت بخش محصول پشتیبانی می کند. مهم نیست که نیازهای خاص شما چیست ، ما بهترین راه حل را برای نیازهای بخاری پوشش TAC شما مطابقت خواهیم داد و در هر زمان منتظر مشاوره شما هستیم.