محصولات

پوشش کاربید تانتالیوم

نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالیوم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.


محصولات اصلی هستندحلقه راهنما با پوشش TaC, حلقه راهنمای سه گلبرگ با روکش CVD TaC, نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالیوم TaC, گیرنده سیاره ای سیاره ای اپیتاکسیال پوشش CVD TaC, حلقه پوشش کاربید تانتالیوم, گرافیت متخلخل با پوشش کاربید تانتالم, محافظ چرخشی پوشش TaC, حلقه کاربید تانتالیوم, صفحه چرخشی پوشش TaC, گیرنده ویفر با پوشش TaC, حلقه منحرف کننده با روکش TaC, پوشش CVD TaC Coating, چاک با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.


گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز از کاربید تانتالم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:


Excellent properties of TaC coating graphite


پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در روش PVT کریستال SiC دارد. روند رشد


ویژگی های کلیدی:

 ●پایداری دما

 ●خلوص فوق العاده بالا

 ●مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si

 ●مقاومت در برابر استوک حرارتی

 ●چسبندگی قوی به گرافیت

 ●پوشش پوششی منسجم

 اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)


برنامه های کاربردی:

 ●حامل ویفر

 ● گیرنده گرمایش القایی

 ● المنت حرارتی مقاومتی

 ●دیسک ماهواره

 ●سر دوش

 ●حلقه راهنما

 ●گیرنده LED Epi

 ●نازل تزریق

 ●حلقه ماسک

 ● سپر حرارتی


پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


پارامتر پوشش کاربید تانتالم نیمه هادی VeTek:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم 14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه 0.3
ضریب انبساط حرارتی 6.3 10-6/ ک
سختی (HK) 2000 هنگ کنگ
مقاومت 1×10-5اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی <2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند -10-20 میلی متر
ضخامت پوشش مقدار معمولی ≥20um (10±35um)


داده های EDX پوشش TaC

EDX data of TaC coating


داده های ساختار کریستالی پوشش TaC:

عنصر درصد اتمی
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 میانگین
سی ک 52.10 57.41 52.37 53.96
ام 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
صفحه چرخش پوشش TAC

صفحه چرخش پوشش TAC

صفحه چرخش پوشش پوشش TAC تولید شده توسط نیمه هادی Vetek دارای یک پوشش برجسته TAC است ، با پوشش استثنایی TAC ، صفحه چرخش پوشش TAC دارای مقاومت قابل توجه درجه حرارت بالا و عدم تحرک شیمیایی است ، که آن را از راه حل های سنتی جدا می کند.
صفحه پوشش TAC

صفحه پوشش TAC

با دقت و مهندسی به کمال ، صفحه پوشش TAC نیمه هادی Vetek به طور خاص برای کاربردهای مختلف در فرآیندهای رشد تک کریستالی سیلیکون (SIC) متناسب است. ابعاد دقیق صفحه پوشش TAC و ساخت و سازهای قوی باعث می شود که ادغام در سیستم های موجود آسان شود ، از سازگاری یکپارچه و عملکرد کارآمد اطمینان حاصل شود. عملکرد قابل اعتماد و پوشش با کیفیت بالا به نتایج مداوم و یکنواخت در برنامه های رشد کریستال SIC کمک می کند. ما متعهد هستیم که محصولات با کیفیت را با قیمت های رقابتی ارائه دهیم و مشتاقانه شریک زندگی بلند مدت شما در چین هستیم.
پوشش پوشش CVD TAC

پوشش پوشش CVD TAC

پوشش پوشش CVD TAC ارائه شده توسط نیمه هادی Vetek یک مؤلفه بسیار تخصصی است که به طور خاص برای برنامه های کاربردی طراحی شده است. پوشش پوشش CVD TAC ما با ویژگی های پیشرفته و عملکرد استثنایی ، چندین مزیت مهم را ارائه می دهد. پوشش پوشش CVD TAC ما محافظت و عملکرد لازم را برای موفقیت فراهم می کند. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا همکاری های احتمالی با شما را بررسی کنیم!
پوشش TAC حساس سیاره

پوشش TAC حساس سیاره

Coating Coating Planetary Suster یک محصول استثنایی برای تجهیزات Aixstron Epitaxy است. پوشش TAC نیمه هادی Vetek مقاومت در برابر درجه حرارت بالا و عدم تحرک شیمیایی را فراهم می کند. این ترکیب منحصر به فرد ، عملکرد قابل اعتماد و عمر طولانی ، حتی در محیط های خواستار را تضمین می کند. Vetek متعهد است که محصولات با کیفیت بالا را ارائه دهد و به عنوان یک شریک بلند مدت در بازار چین با قیمت گذاری رقابتی خدمت کند.
صفحه پشتیبانی پایه پایه TAC

صفحه پشتیبانی پایه پایه TAC

پوشش TAC می تواند در برابر دمای بالای 2200 stound مقاومت کند. نیمه هادی Vetek پوشش TAC با خلوص بالا را با ناخالصی های زیر 5ppm در چین فراهم می کند. صفحه پشتیبانی پایه پایه پوشش TAC قادر به مقاومت در برابر هیدروژن آمونیاک ، آرگونین در محفظه واکنش دستگاه اپیتاکسیال است. این زندگی خدمات محصول را بهبود می بخشد. شما الزامات را ارائه می دهید ، ما سفارشی سازی را ارائه می دهیم.
پوشش TAC چاک

پوشش TAC چاک

چاک پوشش TAC نیمه هادی Vetek دارای یک پوشش با کیفیت بالا است که به دلیل مقاومت در برابر دمای بالا و عدم تحرک شیمیایی ، به ویژه در فرآیندهای کاربید سیلیکون (SIC) Epitaxy (EPI) شناخته شده است. با ویژگی های استثنایی و عملکرد برتر ، Coating Coating Chuck ما چندین مزیت کلیدی را ارائه می دهد. ما متعهد هستیم که محصولات با کیفیت را با قیمت های رقابتی ارائه دهیم و مشتاقانه شریک زندگی بلند مدت شما در چین هستیم.
ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept