قسمت یدکی پوشش TAC

آن نیمه هادی استصفحه پوشش TACیک ماده خاص است که به طور گسترده در آن استفاده می شودنیمه هادیفرآیند تولید همراه با مقاومت زیاد و مقاومت در برابر سایش ، مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی ، ضریب اصطکاک کم و هدایت حرارتی خوب ، صفحه پوشش TAC در بسیاری از پیوندهای پردازش نیمه هادی نقش غیر قابل تعویض دارد.

به طور کلی ، برنامه های کاربردیصفحات روکش شده TACدر پردازش نیمه هادی به شرح زیر است:

● بستر رشد CVD/ALD: مقاومت در برابر دمای بالا ، پایداری شیمیایی و ضریب اصطکاک کم صفحات روکش شده با TAC ، آنها را بسترهای رشد CVD/ALD ایده آل می کند. این می تواند یک محیط رشد پایدار را برای اطمینان از یکنواختی و تراکم فیلم فراهم کند.

●  صفحه ماسک اچ: سختی و مقاومت در برابر خوردگی صفحات روکش شده با TAC ، آنها را قادر می سازد که در برابر فرآیندهای پر انرژی مانند اچ پلاسما مقاومت کنند ، به عنوان صفحات ماسک اچ ، محافظت از فیلم زیرین.

●  پد پولیش CMP: مقاومت در برابر سایش و ضریب اصطکاک کم صفحات روکش شده با TAC ، آنها را برای مواد ایده آل برای لنت های پولیش CMP ، که به طور موثری می تواند ذرات و نقص های موجود در سطح فیلم را از بین ببرد ، می کند.

●  لوله کوره درجه حرارت بالا: مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی صفحات روکش شده با TAC ، آنها را قادر می سازد به عنوان لوله های کوره در کوره های درجه حرارت بالا برای بازپرداخت دمای بالا ، انتشار و سایر فرآیندها استفاده شود.

پارامترهای فنی پوشش CVD TAC：

Vetek نیمه هادی TAC پوشش محصولات یدکی محصولات یدکی：