صفحه حامل سیلیکون کاربید Veteksemicon برای اچینگ LED، که به طور خاص برای تولید تراشه LED طراحی شده است، یک هسته قابل مصرف در فرآیند اچ است. ساخته شده از کاربید سیلیکون با خلوص بالا پخته شده، مقاومت شیمیایی استثنایی و پایداری ابعادی در دمای بالا را ارائه می دهد و به طور موثر در برابر خوردگی اسیدهای قوی، بازها و پلاسما مقاومت می کند. ویژگیهای آلودگی کم آن، بازده بالا را برای ویفرهای همپای LED تضمین میکند، در حالی که دوام آن، بسیار فراتر از مواد سنتی است، به مشتریان کمک میکند تا هزینههای عملیاتی کلی را کاهش دهند، و آن را به انتخابی مطمئن برای بهبود کارایی و سازگاری فرآیند حکاکی تبدیل میکند.
کاربرد: صفحه حامل سیلیکون کاربید Veteksemicon برای اچینگ LED به طور خاص برای فرآیندهای اچ LED طراحی شده است. با مقاومت و پایداری عالی در برابر خوردگی، به مشتریان کمک می کند تا به طور قابل توجهی عملکرد را بهبود بخشند و هزینه های کلی را کاهش دهند.
خدمات قابل ارائه: تجزیه و تحلیل سناریو برنامه مشتری، مواد تطبیق، حل مشکلات فنی.
مشخصات شرکت: Veteksemicon دارای 2 آزمایشگاه، یک تیم متخصص با 20 سال سابقه مواد، با قابلیت تحقیق و توسعه و تولید، آزمایش و تأیید است.
پارامترهای فنی
پروژه
پارامتر
مواد
کاربید سیلیکون زینتر شده/بدون فشار بسیار واکنش پذیر
خلوص
بیش از 99.5٪ SiC
تراکم
≥3.02 گرم بر سانتی متر مکعب
تخلخل
<0.1%
قدرت خمشی
≥350 مگاپاسکال
ضریب انبساط حرارتی
4.5 x 10-6/°C
هدایت حرارتی
≥120 W/m·K
درمان سطحی
صافی و صافی دقیق را فراهم کنید
صفحه حامل سیلیکون کاربید Veteksemicon برای مزایای اصلی اچینگ LED
1. مقاومت شیمیایی عالی
در حین حکاکی مرطوب یا خشک تراشه های LED، حامل ها دائماً در معرض مواد شیمیایی بسیار خورنده مانند اسید هیدروفلوئوریک، اسید نیتریک و اسید فسفریک قرار می گیرند. مواد کوارتز سنتی به تدریج فرسایش می یابند و در نتیجه زبری سطح و آلودگی ذرات ایجاد می شود. حاملهای کاربید سیلیکون Veteksemicon، با بی اثری شیمیایی ذاتی خود، به طور موثر در برابر حمله اسیدها و بازهای مختلف مقاومت میکنند و تضمین میکنند که یکپارچگی سطح و سطح صاف را حتی پس از صدها چرخه پردازش دقیق حفظ میکنند. این به طور قابل توجهی عمر سرویس آنها را افزایش می دهد و تمیزی محفظه فرآیند را حفظ می کند.
2. پایداری درجه حرارت بالا و دقت ابعادی عالی
پردازش نیمه هادی شامل چرخه حرارتی مکرر است که ضریب انبساط حرارتی ماده (CTE) را بسیار مهم می کند. گیرنده های کاربید سیلیکون ما CTE بسیار پایینی دارند که کاملاً با ویفر سیلیکونی مطابقت دارد. آنها به طور موثر در برابر تنش حرارتی مقاومت می کنند و از تاب برداشتن یا تغییر شکل جلوگیری می کنند و در عین حال ثبات ابعادی استثنایی را در دمای عملیاتی صدها درجه سانتیگراد حفظ می کنند. این امر تماس یکنواخت بین ویفر و گیرنده را تضمین می کند و یکنواختی فرآیند اچینگ عالی و قوام دسته به دسته بالا را تضمین می کند.
3. خلوص بالا و آلودگی فوق العاده کم
ویفرهای اپیتاکسیال LED نسبت به ناخالصی های فلزی بسیار حساس هستند. حتی کوچکترین آلودگی می تواند منجر به کاهش راندمان نوری تراشه و کاهش عملکرد شود. Veteksemicon از مواد خام با خلوص فوق العاده بالا، فرآیندهای پخت پیشرفته استفاده می کند و محیط تولید را به شدت کنترل می کند تا ناخالصی های یون فلزی در محصولات خود را به حداقل برساند. این پیگیری بینتیجه خلوص از منبع، مطمئنترین محافظت را برای دستگاههای اپتوالکترونیک حساس شما فراهم میکند و مستقیماً به بهبود بازده و عملکرد محصول کمک میکند.
4. خواص مکانیکی عالی و عمر طولانی
کاربید سیلیکون دارای سختی و مقاومت در برابر سایش استثنایی است. در مقایسه با اجزای گرافیت، حساسیت کمتری به گرد و غبار و ریزش ذرات دارد و در مقایسه با اجزای کوارتز، میتواند تنشهای مکانیکی بیشتر و ضربههای تصادفی در حین کار را تحمل کند. این ویژگیهای فیزیکی قوی، حاملهای Veteksemicon را قادر میسازد تا در برابر جابجایی، تمیز کردن و حمل و نقل مکرر روزانه مقاومت کنند و به طور قابلتوجهی زمان توقف برنامهریزی نشده و هزینههای قطعات یدکی ناشی از شکستگی را کاهش دهند و در نتیجه عمر طولانیتری داشته باشند و هزینه کلی مالکیت برای مشتریان کاهش یابد.
5. تأیید صحت زنجیره زیست محیطی
ورق حامل سیلیکون کاربید Veteksemicon برای اچینگ LED تأیید زنجیره زیست محیطی مواد خام را برای تولید پوشش می دهد، گواهی استاندارد بین المللی را گذرانده است و دارای تعدادی فناوری ثبت شده برای اطمینان از قابلیت اطمینان و پایداری آن در زمینه های نیمه هادی و انرژی های جدید است.
سناریوهای کاربردی معمولی
● فرآیند اچینگ ویفرهای همپای LED مبتنی بر GaN که توسط MOCVD رشد کرده اند
● صفحه حامل حکاکی خشک (ICP، RIE) در تولید تراشه LED
● صفحه حامل اچ شیمیایی مرطوب در تولید تراشه LED
● موارد دیگر که مواد نیمه هادی باید در محیط های بسیار خورنده و با دمای بالا پردازش شوند.
برای مشخصات فنی دقیق، کاغذهای سفید یا ترتیبات آزمایش نمونه، لطفاً با تیم پشتیبانی فنی ما تماس بگیرید تا بررسی کنید که چگونه Veteksemicon می تواند کارایی فرآیند شما را افزایش دهد.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
ما از کوکی ها استفاده می کنیم تا تجربه مرور بهتری به شما ارائه دهیم، ترافیک سایت را تجزیه و تحلیل کنیم و محتوا را شخصی سازی کنیم. با استفاده از این سایت، شما با استفاده ما از کوکی ها موافقت می کنید. سیاست حفظ حریم خصوصی