حلقه تمرکز اچینگ پلاسما

در زمینه تولید ویفر ، حلقه فوکوس نیمه هادی Vetek نقش اساسی دارد. این فقط یک مؤلفه ساده نیست ، بلکه نقش مهمی در فرآیند اچینگ پلاسما دارد. اول ، حلقه فوکوس Etchig پلاسما برای اطمینان از اینکه ویفر به طور محکم در موقعیت مورد نظر نگه داشته می شود ، طراحی شده است ، بنابراین از صحت و ثبات فرآیند اچینگ اطمینان می دهد. با نگه داشتن ویفر ، حلقه فوکوس به طور مؤثر یکنواختی چگالی پلاسما را حفظ می کند ، که برای موفقیت درفرآیند اچینگ.

علاوه بر این ، حلقه تمرکز نیز نقش مهمی در جلوگیری از آلودگی جانبی ویفر دارد. کیفیت و خلوص ویفرها برای تولید تراشه بسیار مهم است ، بنابراین باید تمام اقدامات لازم انجام شود تا اطمینان حاصل شود که ویفرها در طول فرآیند اچینگ تمیز باقی می مانند. حلقه تمرکز به طور موثری مانع از ورود ناخالصی های خارجی و آلاینده ها به طرفهای سطح ویفر می شود ، بنابراین از کیفیت و عملکرد محصول نهایی اطمینان می یابد.

در گذشته ،حلقه های متمرکزعمدتا از کوارتز و سیلیکون ساخته شده بودند. با این حال ، با افزایش اچ کردن خشک در تولید پیشرفته ویفر ، تقاضا برای تمرکز حلقه های ساخته شده از کاربید سیلیکون (SIC) نیز در حال افزایش است. در مقایسه با حلقه های سیلیکون خالص ، حلقه های SIC از دوام بیشتری برخوردار هستند و عمر خدمات طولانی تری دارند ، بنابراین هزینه های تولید را کاهش می دهد. حلقه های سیلیکون باید هر 10 تا 12 روز جایگزین شوند ، در حالی که حلقه های SIC هر 15 تا 20 روز یکبار جایگزین می شوند. در حال حاضر ، برخی از شرکت های بزرگ مانند سامسونگ در حال مطالعه استفاده از سرامیک کاربید بور (B4C) به جای SIC هستند. B4C سختی بالاتری دارد ، بنابراین این واحد بیشتر طول می کشد.

در تجهیزات اچینگ پلاسما ، نصب حلقه فوکوس برای اچ کردن پلاسما از سطح بستر روی یک پایه در یک رگ درمانی ضروری است. حلقه متمرکز بستر را با منطقه اول در قسمت داخلی سطح آن احاطه کرده است که دارای زبری سطح متوسط ​​متوسط ​​برای جلوگیری از گرفتن محصولات واکنش تولید شده در هنگام ضبط و رسوب است. 

در همین زمان ، منطقه دوم در خارج از منطقه اول دارای زبری سطح متوسط ​​بزرگی برای تشویق محصولات واکنش تولید شده در طی فرآیند اچینگ برای اسیر و رسوب است. مرز بین منطقه اول و منطقه دوم بخشی است که میزان اچینگ نسبتاً قابل توجه است ، مجهز به حلقه فوکوس در دستگاه اچینگ پلاسما است و اچ پلاسما روی بستر انجام می شود.

فروشگاه های محصولات Veteksemicon: