فرآیند اپیتاکسی SiC

پوشش‌های کاربید منحصربفرد VeTek Semiconductor محافظت عالی برای قطعات گرافیتی در فرآیند اپیتاکسی SiC برای پردازش مواد نیمه‌رسانا و نیمه‌رساناهای مرکب مورد نیاز را فراهم می‌کند. نتیجه افزایش عمر اجزای گرافیت، حفظ استوکیومتری واکنش، مهار مهاجرت ناخالصی به کاربردهای اپیتاکسی و رشد کریستال است که منجر به افزایش بازده و کیفیت می‌شود.

پوشش های کاربید تانتالیوم (TaC) ما از اجزای مهم کوره و راکتور در دماهای بالا (تا 2200 درجه سانتیگراد) در برابر آمونیاک داغ، هیدروژن، بخارات سیلیکون و فلزات مذاب محافظت می کند. VeTek Semiconductor دارای طیف گسترده ای از پردازش و اندازه گیری گرافیت است تا نیازهای سفارشی شما را برآورده کند، بنابراین ما می توانیم یک پوشش یا خدمات کامل را با هزینه پرداخت کنیم، با تیم مهندسین متخصص خود آماده طراحی راه حل مناسب برای شما و برنامه خاص شما. .

کریستال های نیمه هادی مرکب

VeTek Semiconductor می تواند پوشش های TaC ویژه ای را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه دهد. از طریق فرآیند پوشش‌دهی پیشرو در صنعت VeTek Semiconductor، پوشش TaC می‌تواند خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و مقاومت شیمیایی بالا را به دست آورد، در نتیجه کیفیت محصول کریستال TaC/GaN) و لایه‌های EPl را بهبود می‌بخشد و طول عمر اجزای مهم راکتور را افزایش می‌دهد.

عایق های حرارتی

اجزای رشد کریستال SiC، GaN و AlN شامل بوته‌ها، نگهدارنده‌های دانه، منحرف کننده‌ها و فیلترها. مجموعه های صنعتی شامل عناصر گرمایش مقاومتی، نازل ها، حلقه های محافظ و وسایل لحیم کاری، اجزای راکتور CVD همپای GaN و SiC شامل حامل های ویفر، سینی های ماهواره، سر دوش، کلاهک ها و پایه ها، اجزای MOCVD.

هدف:

● LED (دیود ساطع کننده نور) حامل ویفر

● گیرنده ALD (نیمه هادی).

● گیرنده EPI (فرایند اپیتاکسی SiC)

گیرنده سیاره ای سیاره ای اپیتاکسیال پوشش CVD TaC حلقه با پوشش TaC برای راکتور هم‌زبانی SiC حلقه سه گلبرگ با روکش TaC قسمت نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالم برای LPE

مقایسه پوشش SiC و پوشش TaC:

	SiC	TaC
ویژگی های اصلی	خلوص فوق العاده بالا، مقاومت عالی در پلاسما	پایداری عالی در دمای بالا (انطباق فرآیند با دمای بالا)
خلوص	>99.9999٪	>99.9999٪
چگالی (g/cm³)	3.21	15
سختی (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
مقاومت [Ωcm]	0.1-15000	<1
هدایت حرارتی (W/m-K)	200-360	22
ضریب انبساط حرارتی (10^-6/℃)	4.5-5	6.3
کاربرد	جیگ سرامیکی تجهیزات نیمه هادی (حلقه فوکوس، سر دوش، ویفر ساختگی)	قطعات رشد تک کریستالی SiC، Epi، UV LED Equipment

View as

پوشش TAC چاک

چاک پوشش TAC نیمه هادی Vetek دارای یک پوشش با کیفیت بالا است که به دلیل مقاومت در برابر دمای بالا و عدم تحرک شیمیایی ، به ویژه در فرآیندهای کاربید سیلیکون (SIC) Epitaxy (EPI) شناخته شده است. با ویژگی های استثنایی و عملکرد برتر ، Coating Coating Chuck ما چندین مزیت کلیدی را ارائه می دهد. ما متعهد هستیم که محصولات با کیفیت را با قیمت های رقابتی ارائه دهیم و مشتاقانه شریک زندگی بلند مدت شما در چین هستیم.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

lpe sic epi halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon یک طرح ویژه برای کوره اپیتاکسی افقی است، محصولی انقلابی که برای بالا بردن فرآیندهای اپیتاکسی SiC راکتور LPE طراحی شده است. این راه حل پیشرفته دارای چندین ویژگی کلیدی است که عملکرد و کارایی برتر را در طول عملیات تولید شما تضمین می کند. نیمه هادی Vetek در تولید نیمه ماه LPE SiC Epi در 6 اینچ، 8 اینچ حرفه ای است. مشتاقانه منتظر راه اندازی همکاری طولانی مدت با شما هستیم.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالیوم TaC

قطعات Halfmoon که با پوشش CVD TAC پوشانده شده است ، با دوام تر از قسمت های نیمه تمام روکش شده با SIC است. نیمه هادی Vetek تولید کننده و تأمین کننده پیشرو در چین برای Tantalum Carbide TAC با پوشش Halfmoon است ، ما در R&D و تولید تخصص داریم ، می تواند کیفیت را کنترل کند و یک رقابتی ارائه می دهد قیمت. شما برای بحث بیشتر در مورد همکاری طولانی مدت از کارخانه ما بازدید می کنید.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه سه گلبرگ با روکش TaC

VeTek Semiconductor یک تولید کننده حلقه سه گلبرگ با پوشش TaC و مبتکر پیشرو در چین است. ما سال هاست در پوشش TaC و SiC تخصص داشته ایم. محصولات ما دارای مقاومت در برابر خوردگی و استحکام بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین هستیم. در هر زمان به مشاوره خوش آمدید.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

Carbide Tantalum Carbide

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده و مبتکر و مبتکران چاک با روکش چاک با پوشش تانتالوم است. ما سالهاست که در پوشش TAC تخصص داریم. محصولات ما تا 2000 دارای خلوص بالا و مقاومت در برابر دمای بالا هستند.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

پوشش روکش شده با کاربید Tantalum

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده و مبتکر پوشش پوشش پوشش داده شده با پوشش کاربید Tantalum است. ما سالهاست که در پوشش TAC و SIC تخصص داریم. محصولات ما دارای مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت بالا هستند. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلند مدت شما در چین باشیم. در هر زمان مشورت می کنیم.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.