محصولات

چاک سرامیکی متخلخل توسط Veteksemicon یک سکوی خلاء با مهندسی دقیق است که برای کار با ویفر ایمن و بدون ذرات در فرآیندهای نیمه هادی پیشرفته مانند اچ ، کاشت یون ، CMP و بازرسی طراحی شده است. ساخته شده از کاربید سیلیکون متخلخل متخلخل بالا ، هدایت حرارتی برجسته ، مقاومت شیمیایی و استحکام مکانیکی را ارائه می دهد. Veteksemicon با اندازه و ابعاد منافذ قابل تنظیم ، راه حل های متناسب را برای برآورده کردن خواسته های دقیق محیط های پردازش ویفر در اتاق پاک ارائه می دهد.

قایق های ویفر کوارتز ما محلول حامل ویفر با خلوص بالا برای فرایندهای نیمه هادی ، LED ، سلول خورشیدی و فرآیندهای تولید باتری هستند. این قایق کوارتز برای تحمل دمای بالا و محیط های شیمیایی تهاجمی ، دارای انبساط حرارتی کم ، عایق الکتریکی عالی و پایداری ابعادی طولانی مدت است. ایده آل برای انتشار ، اکسیداسیون و فرآیندهای LPCVD ، از تراز دقیق ویفر پشتیبانی می کند و در اندازه های مختلف برای برآورده کردن نیازهای مختلف تجهیزات موجود است.

Veteksemicon sic cantilever paddles بازوهای پشتیبانی کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که برای دست زدن به ویفر در کوره های انتشار افقی و راکتورهای اپیتاکسیال طراحی شده است. با هدایت حرارتی استثنایی ، مقاومت در برابر خوردگی و استحکام مکانیکی ، این بالشتک ها ثبات و پاکیزگی را در محیط های نیمه هادی خواستار می کنند. در اندازه های سفارشی موجود است و برای عمر طولانی مدت بهینه شده است.

بلوک SIC Veteksemicon برای سنگ زنی با راندمان بالا و نازک شدن ویفرهای سیلیکون و یاقوت کبود طراحی شده است. با هدایت حرارتی عالی (≥120 W/m · K) ، مقاومت در برابر شوک حرارتی بالا و مقاومت در برابر سایش برتر (MOHS ≥9) ، بلوک های ما ثبات فرآیند را بهبود می بخشد و فرکانس تغییر ابزار را کاهش می دهد. در اندازه های 120 میلی متر تا 480 میلی متر ، با گزینه های سفارشی و تحویل سریع برای تأمین نیازهای متنوع تولیدی موجود است.

نگهدارنده ویفر پوشش کاربید سیلیکون توسط Veteksemicon برای دقت و عملکرد در فرآیندهای نیمه هادی پیشرفته مانند MOCVD ، LPCVD و بازپرداخت درجه حرارت بالا مهندسی شده است. این دارنده ویفر با داشتن یک پوشش یکنواخت CVD SIC ، هدایت حرارتی استثنایی ، عدم تحرک شیمیایی و استحکام مکانیکی را تضمین می کند-برای پردازش ویفر بدون آلودگی و بدون آلودگی ضروری است.

حلقه های لبه SIC با خلوص بالا Veteksemicon ، مخصوص تجهیزات اچینگ نیمه هادی ، دارای مقاومت در برابر خوردگی برجسته و پایداری حرارتی ، به طور قابل توجهی عملکرد ویفر را افزایش می دهد