محصولات

در فرآیند اصلی رشد اپیتاکسیال کاربید سیلیکون، Veteksemicon درک می‌کند که عملکرد susceptor مستقیماً کیفیت و کارایی تولید لایه همپایی را تعیین می‌کند. گیرنده های EPI با خلوص بالا، که به طور خاص برای میدان SiC طراحی شده اند، از یک بستر گرافیت ویژه و یک پوشش متراکم CVD SiC استفاده می کنند. آنها با پایداری حرارتی عالی، مقاومت در برابر خوردگی عالی و نرخ تولید ذرات بسیار پایین، ضخامت بی‌نظیر و یکنواختی دوپینگ را برای مشتریان حتی در محیط‌های سخت فرآیند با دمای بالا تضمین می‌کنند. انتخاب Veteksemicon به معنای انتخاب سنگ بنای قابلیت اطمینان و عملکرد برای فرآیندهای تولید نیمه هادی پیشرفته است.

گیرنده گرافیت با پوشش Veteksemicon SiC برای ASM یک جزء حامل هسته در فرآیندهای همپایی نیمه هادی است. این محصول از فناوری اختصاصی پوشش کاربید سیلیکون پیرولیتیک و فرآیندهای ماشینکاری دقیق ما برای اطمینان از عملکرد برتر و طول عمر فوق العاده طولانی در محیط های فرآیندی با دمای بالا و خورنده استفاده می کند. ما عمیقاً نیازهای سختگیرانه فرآیندهای اپیتاکسیال را در مورد خلوص بستر، پایداری حرارتی و سازگاری درک می‌کنیم و متعهد هستیم که راه‌حل‌های پایدار و قابل اعتمادی را به مشتریان ارائه دهیم که عملکرد کلی تجهیزات را بهبود می‌بخشد.

بوته های کوارتز نیمه هادی Veteksemicon مواد مصرفی کلیدی در فرآیند رشد تک کریستال Czochralski هستند. با خلوص فوق العاده و پایداری حرارتی برتر به عنوان تمرکز اصلی ما، ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا به مشتریان هستیم که عملکرد پایدار و مقاومت عالی در برابر تبلور در محیط های دمای بالا و فشار بالا را نشان می دهند. این امر کیفیت میله‌های کریستالی را از منبع تضمین می‌کند و به تولید ویفر سیلیکونی نیمه‌رسانا کمک می‌کند تا بازدهی بالاتر و مقرون‌به‌صرفه‌تری داشته باشد.

حلقه فوکوس Veteksemicon به طور خاص برای تجهیزات اچینگ نیمه هادی، به ویژه کاربردهای اچ SiC طراحی شده است. در اطراف چاک الکترواستاتیک (ESC)، در مجاورت ویفر نصب شده است، وظیفه اصلی آن بهینه سازی توزیع میدان الکترومغناطیسی در محفظه واکنش است و از عملکرد پلاسما یکنواخت و متمرکز در کل سطح ویفر اطمینان حاصل می کند. حلقه فوکوس با کارایی بالا به طور قابل توجهی یکنواختی نرخ اچ را بهبود می بخشد و اثرات لبه را کاهش می دهد و مستقیماً بازده محصول و راندمان تولید را افزایش می دهد.

صفحه حامل سیلیکون کاربید Veteksemicon برای اچینگ LED، که به طور خاص برای تولید تراشه LED طراحی شده است، یک هسته قابل مصرف در فرآیند اچ است. ساخته شده از کاربید سیلیکون با خلوص بالا پخته شده، مقاومت شیمیایی استثنایی و پایداری ابعادی در دمای بالا را ارائه می دهد و به طور موثر در برابر خوردگی اسیدهای قوی، بازها و پلاسما مقاومت می کند. ویژگی‌های آلودگی کم آن، بازده بالا را برای ویفرهای همپای LED تضمین می‌کند، در حالی که دوام آن، بسیار فراتر از مواد سنتی است، به مشتریان کمک می‌کند تا هزینه‌های عملیاتی کلی را کاهش دهند، و آن را به انتخابی مطمئن برای بهبود کارایی و سازگاری فرآیند حکاکی تبدیل می‌کند.

قایق گرافیت Veteksemicon برای PECVD با ماشینکاری دقیق از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده است و به طور خاص برای فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی با افزایش پلاسما طراحی شده است. با بهره گیری از درک عمیق خود از مواد میدان حرارتی نیمه هادی و قابلیت های ماشینکاری دقیق، قایق های گرافیتی با پایداری حرارتی استثنایی، رسانایی عالی و عمر طولانی ارائه می دهیم. این قایق‌ها برای اطمینان از رسوب لایه نازک بسیار یکنواخت در هر ویفر در محیط فرآیند PECVD طراحی شده‌اند که عملکرد و بهره‌وری فرآیند را بهبود می‌بخشد.