کوره پرس گرم خلاء باندینگ کریستال کاربید سیلیکون

فناوری پیوند دانه SiC یکی از فرآیندهای کلیدی است که تأثیر می گذاردرشد کریستال.VETEK تخصصی توسعه داده استکوره پرس گرم خلاءبرای پیوند دانه بر اساس ویژگی های این فرآیند. کوره می تواند به طور موثری عیوب مختلف ایجاد شده در طول فرآیند پیوند بذر را کاهش دهد و در نتیجه عملکرد و کیفیت نهایی شمش کریستال را بهبود بخشد.

معرفی کنید

1. کوره برای پیوند دانه قبل استفاده می شودرشد کریستال SiC

2. دانه چسبیده می تواند در دمای 2300 درجه سانتیگراد محکم بماند، چسبندگی 100٪ بدون حباب هوا، با صافی بالا، سطح تمیز دانه و بدون ناخالصی جذب شود.

3. فرم صفحه گرم شده مقاومت گرمایش دیسک مارپیچی شکل و منطقه گرمایش یکنواخت را پذیرفته است، استفاده از آن صرفه جویی و کارکرد آسان است.

4. پایین صفحه بار مجهز به سنسورهای نیرو، نیروی رو به پایین روی قطعه کار به طور دقیق نمایش داده می شود 

معرفی تابع

1. محفظه فلزی دو جداره که با آب خنک می شود، دمای سطح بیرونی بدنه کوره را به طور موثر کاهش می دهد، آسیب دمای بالا را به حداقل می رساند و تأثیر آن بر محیط را کاهش می دهد.

2. می تواند به افزایش خودکار نیروی رو به پایین دست یابد و نگه داشتن نیرو، نیروی بارگذاری آهسته و جابجایی را می توان به طور خودکار کنترل کرد.

3. پیکربندی های خلاء متنوع در دسترس هستند و سطوح مختلف خلاء را می توان با توجه به فرآیند انتخاب کرد.

4. فشار یکنواخت و دقت کنترل دمای بالا.

5. ساختار نیروی رو به پایین یک طراحی دقیق رانش مکانیکی را اتخاذ می کند، که از نیروی پایین آوردن دقیق و پایدار، استفاده ایمن و سازگاری با محیط زیست اطمینان می دهد.

6. مهر پایین با راه "جهانی" به میله فشار متصل می شود. این اطمینان حاصل می شود که وقتی قطعه کار سرکوب می شود، سطح مهر پایین تحت تطبیق موازی با سطح صفحه گرم شده باشد، اطمینان حاصل شود که قطعه کار دارای نیروی رو به پایین یکنواخت است.

7. تمبر پایین دارای عملکرد بافر نیروی رو به پایین بارگذاری است، نیروی رو به پایین صاف و نرم را بدون ضربه ارائه می دهد، بنابراین از ترک خوردگی قطعه کار جلوگیری می کند.

9. هر دو صفحه گرم شده و مهره نیروی رو به پایین مجهز به سپر عایق حرارتی برای کاهش از دست دادن غیر موثر دما هستند.

پارامتر

ویژگی

1. پمپ خلاء آهسته، سرعت پمپاژ خلاء قابل تنظیم است

2. محفظه بزرگ، فضای ارتقاء بزرگ

3. The down stamp پایدار اجرا می شود و به طور خودکار عمل می کند

4. نیروی رو به پایین تسکین آهسته و افزایش آهسته، رمپ نیروی رو به پایین با توجه به دستور العمل کنترل خودکار

5. کنترل برنامه ریزی شده دقیق دما و نیروی رو به پایین

6. پارامترهای خلاء، نیروی رو به پایین و دما را می توان آزادانه برای مطابقت با فرآیندهای مختلف پیوند تنظیم کرد.

7. پیوند فشرده و بدون حباب است

8. نرخ ترک بسیار کم است، تقریباً هیچ ترک ناشی از مسائل مربوط به تجهیزات نیست

9. سازگار با پیوند دانه 6-12 اینچ

10. حداکثر نیروی رو به پایین: 1.6 T

11. خلاء نهایی: 5 Pa (سرد)

12. یکنواختی دمای صفحه گرم شده:＜±3℃，σ<4（200℃）

13. نوسان فشار: <0.5٪