حلقه فوکوس کاربید سیلیکون جامد

حلقه فوکوس کاربید سیلیکون جامد Veteksemicon یک جزء محوری در تولید نیمه هادی است که به صورت استراتژیک در خارج از ویفر برای حفظ تماس مستقیم قرار گرفته است. این حلقه با استفاده از یک ولتاژ اعمال شده، پلاسما را که از آن عبور می کند متمرکز می کند و در نتیجه یکنواختی فرآیند را روی ویفر افزایش می دهد. این حلقه فوکوس که صرفا از کاربید سیلیکون رسوب بخار شیمیایی (CVD SiC) ساخته شده است، ویژگی های استثنایی مورد نیاز صنعت نیمه هادی ها را به نمایش می گذارد. ما در Veteksemicon به تولید و عرضه حلقه‌های فوکوس کاربید سیلیکون جامد با کارایی بالا اختصاص داده شده‌ایم که کیفیت ممتاز را با کارایی هزینه ترکیب می‌کنند.

مزایای محصول

در مقایسه با سنتیحلقه های فوکوس سیلیکون (Si) یا کاربید سیلیکون متخلخل (Sintered SiC)، محصول ما در ابعاد کلیدی برتر است:

قابل ذکر است که رسانایی و مقاومت کاربید سیلیکون در برابر حکاکی یونی بسیار شبیه به سیلیکون است و از سازگاری با فرآیندهای تولید نیمه هادی های موجود و در عین حال افزایش عملکرد اطمینان حاصل می کند و حلقه فوکوس کاربید سیلیکون جامد Veteksemicon را به یک ماده ایده آل برای این کاربرد حیاتی تبدیل می کند.

حلقه متمرکز کاربید سیلیکون جامد Veteksemicon به عنوان یک راه حل پیشرفته در حوزه تولید نیمه هادی ها ایستاده است. این به طور کامل از مزایای مواد منحصر به فرد  CVD SiC برای تسهیل فرآیندهای حکاکی قابل اعتماد، با دقت بالا و با کارایی بالا استفاده می کند و به طور قابل توجهی به پیشرفت فناوری نیمه هادی نسل بعدی کمک می کند.