MOCVD با پوشش SiC ضایعات

پارامترهای فنی

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

تعریف و ترکیب محصول

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor یک جزء ممتاز حامل ویفر است که به طور خاص برای پردازش اپیتاکسیال نیمه هادی های نسل سوم مانند GaN و SiC مهندسی شده است. این محصول دارای خواص فیزیکی برتر دو ماده با کارایی بالا است:

بستر گرافیت با خلوص بالا: تولید شده با استفاده از فناوری پرس ایزواستاتیک برای اطمینان از اینکه مواد پایه دارای یکپارچگی ساختاری استثنایی، چگالی بالا و پایداری پردازش حرارتی هستند.

پوشش سی سی سی سی وی دی: یک لایه محافظ کاربید سیلیکون (SiC) متراکم و بدون استرس از طریق فناوری پیشرفته رسوب بخار شیمیایی (CVD) روی سطح گرافیت رشد می کند.

چرا VETEK ضمانت عملکرد شماست؟

دقت نهایی در کنترل یکنواختی حرارتی: بر خلاف حامل های معمولی، گیرنده های VETEK از طریق کنترل دقیق ضخامت پوشش و مقاومت حرارتی در مقیاس نانومتری، به انتقال حرارت بسیار هماهنگ در کل سطح دست می یابند. این مدیریت حرارتی پیچیده به طور موثری انحراف استاندارد طول موج (STD) را در سطح ویفر به حداقل می‌رساند و به طور قابل توجهی کیفیت تک ویفر و قوام دسته کلی را افزایش می‌دهد.

حفاظت طولانی مدت با آلودگی ذرات صفر: در محفظه های واکنش MOCVD حاوی گازهای بسیار خورنده، پایه های گرافیت معمولی مستعد پوسته شدن ذرات هستند. پوشش CVD SiC VETEK دارای بی اثری شیمیایی استثنایی است و به عنوان یک سپر غیرقابل نفوذ عمل می کند که ریز منافذ گرافیت را می بندد. این امر جداسازی کامل ناخالصی‌های زیرلایه را تضمین می‌کند و از هرگونه آلودگی لایه‌های اپیتاکسیال GaN یا SiC جلوگیری می‌کند.

مقاومت استثنایی در برابر خستگی و عمر خدمات:به لطف فرآیند پردازش رابط اختصاصی VETEK، پوشش SiC ما به یک تطابق انبساط حرارتی بهینه با بستر گرافیت دست می یابد. حتی در چرخه حرارتی با فرکانس بالا بین دماهای شدید، پوشش چسبندگی عالی را بدون لایه برداری یا ایجاد ترک های ریز حفظ می کند. این به طور قابل توجهی دفعات تعمیر و نگهداری قطعات یدکی را کاهش می دهد و هزینه کل مالکیت شما را کاهش می دهد.

کارگاه ما