CVD SIC Coating Graphite Susinceor

CVD SIC Coating Graphite Susinceor به ویژه برای تولید با دقت بالا در صنعت نیمه هادی طراحی شده است. بستر گرافیت با یک لایه SIC با خلوص بالا توسط فرآیند CVD پوشانده شده است ، که دارای مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت در برابر اکسیداسیون است و می تواند برای مدت طولانی در محیط های درجه حرارت بالا و خلاء کار کند. این پایه به طور گسترده ای در MOCVD ، PECVD ، PVD و سایر تجهیزات برای پشتیبانی از پردازش و رسیدگی به ویفرها و سایر مواد با دقت بالا استفاده می شود.

مزایای اصلی:

● پایداری درجه حرارت بالا: گرافیت با خلوص بالا به خودی خود دارای ثبات حرارتی عالی است. پس از پوشش با پوشش SIC ، می تواند در برابر محیط های شدید دمای بالاتر مقاومت کند و برای فرآیندهای دمای بالا در پردازش نیمه هادی مناسب است.

● گوشهمقاومت در برابر یون: پوشش CVD SIC در برابر خوردگی اسید و قلیایی مقاوم است و می تواند عمر طولانی مدت در فرآیند CVD داشته باشد.

● Hمقاومت و مقاومت در برابر اکسیداسیون: پوشش SIC CVD از سختی ، مقاومت در برابر خراش و مقاومت در برابر اکسیداسیون در دماهای بالا برای حفظ پایداری مواد برخوردار است.

● هدایت حرارتی خوب: ترکیبی از بستر گرافیت و CVD SIC Coancator Sustenor باعث می شود که پایه دارای هدایت حرارتی عالی باشد که می تواند به طور موثری گرما را انجام داده و راندمان تولید را بهبود بخشد.

مشخصات محصول:

● مادی: بستر گرافیت + پوشش CVD SIC

● ضخامت روکش: با توجه به نیاز مشتری می توان سفارشی کرد

● محیط قابل اجرا: درجه حرارت بالا ، خلاء ، محیط گاز خورنده

سرویس سفارشی:

ما خدمات بسیار سفارشی را برای تأمین نیازهای تجهیزات و فرآیندهای مختلف مشتریان ارائه می دهیم. با توجه به کاربرد خاص مشتری ، پایه های گرافیتی با ضخامت های مختلف پوشش ، درمان های سطح و سطح دقیق ارائه می شود.

Veteksemi همواره در صنعت پوشش CVD Carbide Carbide کار می کند و دارای CVD CVD CVD CVD CVD SIC Graphite Graphite Level سطح تولید و سطح تولید است. اگر به اطلاعات بیشتر محصول یا خدمات سفارشی نیاز دارید ، لطفاً با نیمه هادی Vetek تماس بگیرید ، ما از صمیم قلب پشتیبانی حرفه ای را برای شما فراهم خواهیم کرد.

داده های SEM ساختار کریستالی فیلم CVD SIC:

آن نیمه هادی استCVD SIC پوشش گرافیت گرافیت مغازه های محصول: