حلقه روکش شده با کوره عمودی

در کوره های عمودی ، استفاده از حلقه های روکش شده SIC یک راه حل رایج است ، که عمدتا در فرآیندهای تصفیه حرارتی با دمای بالا استفاده می شودویفرهای نیمه هادی. حلقه‌های با پوشش SiC کوره‌های عمودی، اجزای با کارایی بالا و مقاوم در برابر دمای بالا هستند که برای پشتیبانی یا محافظت از ویفرها برای اطمینان از پایداری و قابلیت اطمینان فرآیند استفاده می‌شوند.

توابع حلقه روکش شده با کوره عمودی

● توابع

نقش مکمل. برای حمایت از ویفرها برای اطمینان از پایداری و موقعیت دقیق آنها در کوره های با دمای بالا استفاده می شود.

●  محافظت در برابر خوردگی

جلوگیری از خوردگی مواد پایه از گازهای خورنده یا مواد شیمیایی.

●  آلودگی را کاهش دهید

پوشش SiC با خلوص بالا می تواند به طور موثر از ریزش ذرات و آلودگی ناخالصی برای اطمینان از تمیزی فرآیند جلوگیری کند.

●  مقاومت در برابر درجه حرارت بالا

حفظ خواص مکانیکی عالی و پایداری ابعادی در محیط های با دمای بالا (معمولا بالای 1000 درجه سانتی گراد).

ویژگی های حلقه روکش SiC کوره عمودی

●  سختی و قدرت بالا

مواد SIC از استحکام مکانیکی بسیار خوبی برخوردار هستند و می توانند در برابر استرس درجه حرارت بالا در کوره مقاومت کنند.

●  پایداری حرارتی خوب

هدایت حرارتی بالا SIC و ضریب انبساط حرارتی کم به کاهش استرس حرارتی کمک می کند.

●  پایداری شیمیایی قوی

پوشش های SiC می توانند در برابر خوردگی در محیط های اکسید کننده، اسیدی یا قلیایی مقاومت کنند.

●  آلودگی ذرات کم

سطح صاف امکان تولید ذرات را کاهش می دهد، که به ویژه برای محیط بسیار تمیز تولید نیمه هادی مناسب است.

برای انتشار، اکسیداسیون، بازپخت و سایر فرآیندها در کوره های عمودی برای حمایت از ویفرهای سیلیکونی و جلوگیری از آلودگی ذرات در طول عملیات حرارتی استفاده می شود.

تولید مواد و فرآیندها

●   بستر: ساخته شده از گرافیت SGL با کیفیت بالا، کیفیت تضمین شده است.

● پوشش: پوشش کاربید سیلیکون توسط رسوب بخار شیمیایی (CVD) به سطح گرافیت اعمال می شود.

● ضخامت پوشش معمولاً بین 500 μ 50 میکرومتر است که با توجه به الزامات استفاده تنظیم می شود.

cover رسوب بخار شیمیایی پوشش SIC دارای خلوص و چگالی بالاتری و دوام بهتر است.

مناسب را انتخاب کنیدروکشحلقه با توجه به قطر ویفر سیلیکونی در کوره و مشخصات حامل. ما می توانیم آن را برای شما سفارشی کنیم. پوشش با خلوص بالا و متراکم بادوام تر و آلودگی کمتری دارد. به طور مرتب با توجه به دفعات استفاده و الزامات فرآیند تعویض کنید تا از آلودگی یا شکست پشتیبانی به دلیل پیری پوشش جلوگیری کنید.

آن نیمه هادی استبه عنوان یک تامین کننده و تولید کننده حلقه با پوشش SiC کوره عمودی حرفه ای در چین، مدت هاست که متعهد به ارائه فناوری پیشرفته کوره عمودی و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه منتظر تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین هستیم.

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC

آن نیمه هادی استمغازه های حلقه ای روکش شده با پوشش کوره عمودی: