خدمات تمیز کردن قطعات گرافیتی پوشش CVD SiC

1. چالش هایی که ممکن است با آن روبرو شوید

• لایه AlN سخت برای حذف:تمیز کردن حرارتی 1300 درجه سانتیگراد هنوز نمی تواند به طور موثر لایه AlN باقیمانده را حکاکی کند.

• اثر حافظه تکرارشونده:اثر حافظه سطحی باعث جریان ناپایدار گاز در راکتور می شود که بر قوام فرآیند تأثیر می گذارد.

• Cleaning Cycle Impacts توان عملیاتی:به طور معمول هر 16 چرخه فرآیند (4-5 گیرنده) نیاز به تمیز کردن خارجی دارد.

• نگرانی در مورد آسیب رساندن به پوشش پرهزینه:فقدان تجربه تمیز کردن شیمیایی در خانه، اپراتورها را در انجام تمیز کردن تهاجمی مردد می کند.

2. راه حل ما - طراحی شده برای فرآیندهای GaN / AlN / AlGaN

• نظافت حرفه ای:فرآیند سفارشی به طور خاص برای قطعات گرافیتی با پوشش CVD SiC توسعه یافته است. بدون نیاز به فرمول شیمیایی از مشتری

• ایمنی پوشش:از پوشش 100 میکرومتری CVD SiC به شدت محافظت می کند. از دست دادن ضخامت صفر مطلق پس از تمیز کردن.

• نتایج قابل تأیید:گواهی کامل تجزیه و تحلیل (COA) که پنج بعد اصلی را پوشش می دهد. داده های آماده برای بایگانی و ممیزی کیفیت.

3. پنج معیار اصلی پذیرش

به طور دقیق با الزامات حیاتی کاربران اپیتاکسی نیمه هادی هماهنگ است:

1. از دست دادن پوشش صفر– ضخامت پوشش SiC هرگز پس از تمیز کردن کاهش نمی یابد (تأیید مقایسه ضخامت قبل و بعد).

2. بدون تغییر شکل سطح- صافی و دقت هندسی به شدت بررسی می شود تا از عدم تغییر شکل فیزیکی اطمینان حاصل شود.

3. از بین بردن اثر حافظه- تجزیه و تحلیل XPS برای باقیمانده Al/Ga حذف کامل منابع اثر حافظه را تأیید می کند.

4. صفر باقی مانده فلز- آزمایش ICP-MS برای آهن، مس، نیکل و سایر فلزات، صفر بودن ناخالصی های فلزی باقیمانده را تأیید می کند.

5. بدون ذرات اضافی- تست ذرات QIII به علاوه تایید پاکیزگی از بی ثباتی جریان گاز ناشی از ذرات باقیمانده جلوگیری می کند.

4. بازرسی تحویل و گزارش COA

هر دسته با داده های تأیید کامل در پنج بعد اصلی تحویل داده می شود:

5. محصولات قابل اجرا و پس زمینه فرآیند

پارامترهای محصول

فرآیند خدمات

1. استعلام– ارسال عکس قطعه / مدل / مقدار برای ارزیابی.

2. نقل قول- ارزیابی فنی و پیشنهاد تمیز کردن دقیق با نقل قول.

3. حمل و نقل- قطعات را برای ما ارسال کنید یا خدمات وانت را ترتیب دهید.

4. تمیز کردن– نظافت حرفه ای + بازرسی کامل چند بعدی.

5. گزارش دهید- گزارش COA صادر شد و قطعات تمیز شده برگشت داده شد.

6. پیگیری– ردیابی اثر و پشتیبانی فنی مداوم.

6. چرا خدمات نظافتی VETEK را انتخاب کنید؟

VETEK تخصص عمیق در فناوری پوشش CVD SiC را با قابلیت‌های تمیز کردن تخصصی برای گیرنده‌های گرافیت با ارزش ترکیب می‌کند. ما اهمیت حیاتی یکپارچگی پوشش، کنترل ذرات و خلوص فرآیند را در اپیتاکسی GaN/AlN درک می کنیم. خدمات ما برای مشتریانی طراحی شده است که به ایمنی مطلق برای پوشش های گران قیمت CVD SiC نیاز دارند در حالی که به طور کامل اثرات حافظه و مشکلات ناپایداری جریان گاز را حل می کند.

· تمیز کردن آزمایشی برای تأیید دسته ای کوچک در دسترس است

· گزارش COA کامل با هر تحویل ارائه شده است

· خطر آسیب پوشش یا آلودگی جدید صفر است

· حرفه ای · ایمن · قابل تأیید