چاک الکترواستاتیک سرامیکی نیترید آلومینیوم (AlN).

اموال

AIN-HC95

AIN-HP95

AIN99

AIN999

AIN-HP999

AIN-HP999LR

رنگ

خاکستری

خاکستری

خاکستری

خاکستری

خاکستری

خاکستری

خلوص

≥95%

≥95%

≥99%

≥99.9٪

≥99.9٪

≥99.9٪

چگالی (g/cm³)

3.3

3.3

3.3

3.2

3.3

3.3

جذب آب (%)

0

0

0

0

0

0

سختی HV (GPa)

10

10

10

10

10

10

مقاومت خمشی (MPa)

380

400

350

310

360

310

مدول الاستیک (GPa)

320

300

300

300

300

300

چقرمگی شکست

3

3.4

3

2.8

2.3

3.3

CTE (×10⁻6/°C)

4.6

5.7

5.2

5.5

5.7

5.4

هدایت حرارتی

180

180

100

90

90

90

شوک حرارتی (درجه سانتیگراد)

400

500

—

—

350

—

قدرت دی الکتریک

16

16

—

16

—

—

مقاومت حجمی

1×10¹4

1×10¹5

1×10¹5

—

1×10¹5

قابل تنظیم

ثابت دی الکتریک

8.6

8.6

8.5

8.5

—

—

پارامتر

مقدار / محدوده معمولی

جنس سرامیک

نیترید آلومینیوم (AlN)

نوع ESC

کولمب / جانسن-راهبک (JR)

طرح الکترود

تک منطقه ای یا چند منطقه ای

مسیر تولید

پرس داغ (AlN برای درجه های TC بالا ترجیح داده می شود)

زمان گیره / گیره زدایی

< 0.1 ثانیه (معمولی)

قطر گودی (حداقل)

~ 300 میکرومتر

ناحیه تماس (با فرورفتگی)

قابل کاهش تا 1%

صافی جهانی (کلاس 300 میلی متر)

~0.5-3 میکرومتر PV (معمولی)

ولتاژ بستن

استاندارد 1-3 کیلو ولت؛ طرح های بیش از 15 کیلو ولت ممکن است