حلقه پوشش TaC

حلقه پوششی TaC نیمه هادی VeTek از گرافیت با کیفیت بالا ساخته شده و با کاربید تانتالوم (TaC) پوشانده شده است، ماده ای که به دلیل خواص برترش شناخته شده است و یک جزء ضروری در پردازش ویفر نیمه هادی است.

ویژگی های کلیدی و مزایای حلقه پوشش نیمه هادی TaC VeTek:

●  پایداری حرارتی بالا: یکی از ویژگی های برجسته حلقه پوشش کاربید Tantalum ، توانایی آن در مقاومت در برابر درجه حرارت بالا است ، یک عامل مهم در اچ کردن نیمه هادی است. فرآیند اچینگ SIC شامل قرار گرفتن در معرض دمای بالا و گازهای واکنشی است ، و پوشش کاربید Tantalum تضمین می کند که حلقه پایدار باشد و حتی در این شرایط سخت ، یکپارچگی ساختاری خود را حفظ کند. این مقاومت حرارتی تضمین می کند که این مؤلفه در طی دوره های طولانی به انجام بهینه ادامه می دهد.

●  استقامت مکانیکی پیشرفته: ترکیبی از گرافیت با استحکام بالا و پوشش TaC منجر به ایجاد قطعه ای با خواص مکانیکی پیشرفته می شود که باعث می شود حلقه پوشش دار TaC در برابر سایش و پارگی بسیار مقاوم باشد. استحکام مکانیکی آن برای محکم نگه داشتن ویفرهای SiC در محل، حصول اطمینان از حکاکی دقیق و جلوگیری از هرگونه تغییر شکل در طول فرآیند بسیار مهم است.

مقاومت به خوردگی شیمیایی: در فرآیندهای نیمه هادی مانند اچینگ SIC ، اجزای غالباً در معرض مواد شیمیایی تهاجمی و گازهای واکنشی قرار می گیرند. پوشش کاربید Tantalum محافظت بسیار خوبی در برابر خوردگی فراهم می کند ، عمر مفید حلقه را به طور قابل توجهی گسترش می دهد و نیاز به تعویض های مکرر را به حداقل می رساند. این مقاومت به ویژه در فرآیند اچینگ ، جایی که اجزای آن در تماس مداوم با مواد واکنشی شیمیایی هستند ، بسیار مهم است.

●  روکش های CoatiTaC برتر برای عملکرد پیشرفته: پوشش کاربید تانتالیوم روی حلقه گرافیتی، سطح محکمی را فراهم می کند که عملکرد کلی قطعه را افزایش می دهد. کاربید تانتالم به دلیل نقطه ذوب بالا (تقریباً 3880 درجه سانتیگراد) و مقاومت عالی آن در برابر واکنش های شیمیایی، به ویژه در محیط های تهاجمی که معمولاً در فرآیندهای تولید نیمه هادی با آن مواجه می شوند، مشهور است. این پوشش کاربید تانتالیوم به طور قابل توجهی طول عمر محصول را بهبود می بخشد و در مقایسه با حلقه های گرافیت بدون پوشش، دوام بالاتری را ارائه می دهد.

●  استقامت مکانیکی پیشرفته: ترکیبی از گرافیت با استحکام بالا و پوشش TaC منجر به ایجاد قطعه ای با خواص مکانیکی پیشرفته می شود که باعث می شود حلقه پوشش دار TaC در برابر سایش و پارگی بسیار مقاوم باشد. استحکام مکانیکی آن برای محکم نگه داشتن ویفرهای SiC در محل، حصول اطمینان از حکاکی دقیق و جلوگیری از هرگونه تغییر شکل در طول فرآیند بسیار مهم است.

VeTek Semiconductor به عنوان یک تامین کننده، تولید کننده و کارخانه برجسته TaC Coating Ring در چین، مدت هاست که متعهد به ارائه محصولات پیشرفته TaC Coating Ring و راه حل های فنی برای صنعت پردازش نیمه هادی بوده و از خدمات محصول سفارشی پشتیبانی می کند. VeTekSemi صمیمانه منتظر است تا شریک بلندمدت شما در چین شود.

خصوصیات فیزیکی پوشش TAC

فروشگاه های محصولات حلقه پوششی TaC نیمه هادی VeTek