پوشش کاربید سیلیکون

حلقه های لبه SIC با خلوص بالا Veteksemicon ، مخصوص تجهیزات اچینگ نیمه هادی ، دارای مقاومت در برابر خوردگی برجسته و پایداری حرارتی ، به طور قابل توجهی عملکرد ویفر را افزایش می دهد

به عنوان یک تولید کننده پیشرو چینی و تأمین کننده محصولات پوشش کاربید سیلیکون ، حامل ویفر پوشش داده شده Veteksemicon برای اچ ، نقش اصلی غیر قابل تعویض در فرآیند اچینگ را با ثبات عالی دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی برجسته و هدایت حرارتی بالا ایفا می کند.

CVD SIC CVD SIC SIC SICISTER SISPICOR یک راه حل برش برای فرآیندهای نیمه هادی اپیتاکسیال ، ارائه خلوص فوق العاده بلند (≤100ppb ، ICP-E10 دارای گواهینامه) و ثبات حرارتی/شیمیایی استثنایی برای رشد مقاوم در برابر آلودگی GAN ، SIC و SILICONES مبتنی بر Epi-Layers است. مهندسی شده با فناوری CVD دقیق ، از ویفرهای 6 "/8"/12 "پشتیبانی می کند ، حداقل استرس حرارتی را تضمین می کند و در برابر دمای شدید تا 1600 درجه سانتیگراد مقاومت می کند.

SIC SINCTOR SICTER SICTOR SIC یک مؤلفه اصلی در فرآیند دمای بالا از تولید نیمه هادی است. طراحی آن بستر گرافیتی را با پوشش کاربید سیلیکون برای دستیابی به بهینه سازی جامع عملکرد مدیریت حرارتی ، پایداری شیمیایی و قدرت مکانیکی ترکیب می کند.

حلقه مهر و موم شده با پوشش SIC ما برای اپیتاکسی یک مؤلفه آب بندی با کارایی بالا است که مبتنی بر کامپوزیت های گرافیت یا کربن کربن است که با کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SIC) توسط رسوب بخار شیمیایی (CVD) پوشش داده شده است ، که ترکیبی از پایداری حرارتی گرافیت با مقاومت محیطی شدید Mocval از SIC ، و IS طراحی شده برای EpitAxial Epitaxial (طراحی شده برای SemiConduction) (

Veteksemicon Single Wafer Epi Graphite Susticor برای کاربید سیلیکون با کارایی بالا (SIC) ، گالیم نیترید (GAN) و سایر فرآیند نیمه هادی نسل سوم Epitaxial طراحی شده است و مؤلفه اصلی برگه اپی توپ با دقت بالا در تولید انبوه است.