حلقه فوکوس Veteksemicon به طور خاص برای تجهیزات اچینگ نیمه هادی، به ویژه کاربردهای اچ SiC طراحی شده است. در اطراف چاک الکترواستاتیک (ESC)، در مجاورت ویفر نصب شده است، وظیفه اصلی آن بهینه سازی توزیع میدان الکترومغناطیسی در محفظه واکنش است و از عملکرد پلاسما یکنواخت و متمرکز در کل سطح ویفر اطمینان حاصل می کند. حلقه فوکوس با کارایی بالا به طور قابل توجهی یکنواختی نرخ اچ را بهبود می بخشد و اثرات لبه را کاهش می دهد و مستقیماً بازده محصول و راندمان تولید را افزایش می دهد.
کاربرد: در فرآیندهای اچ خشک نیمه هادی، حلقه فوکوس جزء کلیدی است که یکنواختی فرآیند را تضمین می کند. این ویفر را محکم احاطه می کند و با کنترل دقیق توزیع پلاسما در لبه های ویفر، مستقیماً یکنواختی و یکنواختی فرآیند اچ را تعیین می کند و آن را به بخشی ضروری از تضمین عملکرد تراشه تبدیل می کند.
خدمات قابل ارائه: تجزیه و تحلیل سناریو برنامه مشتری، مواد تطبیق، حل مشکلات فنی.
مشخصات شرکت: Veteksemicon دارای 2 آزمایشگاه، تیمی از کارشناسان با 20 سال تجربه مواد، با قابلیت تحقیق و توسعه و تولید، آزمایش و تأیید است.
پارامترهای فنی
پروژه
پارامتر
مواد اصلی
SiC متخلخل با خلوص بالا
مواد اختیاری
SiC پوشش داده شده را می توان با توجه به نیاز مشتری سفارشی کرد
قابل استفاده برای سیستم عامل های اصلی تجهیزات اچینگ خشک (مدل های خاص را می توان سفارشی کرد)
ابعاد کلیدی
با توجه به مدل تجهیزات مشتری و الزامات طراحی سفارشی شده است
زبری سطح
Ra ≤ 0.2 میکرومتر (با توجه به نیازهای فرآیند قابل تنظیم است)
ویژگی های کلیدی
مقاومت در برابر خوردگی بالا، خلوص بالا، سختی بالا، پایداری حرارتی عالی و تشکیل ذرات کم
مزایای اصلی حلقه فوکوس رقیب من
1. علم مواد استثنایی، متولد شده برای محیط های خشن
مواد کاربید سیلیکون با خلوص بالا و چگالی بالا انتخاب شده ما می تواند به راحتی در برابر بمباران شدید پلاسما و خوردگی گاز شیمیایی حاوی فلوئور در طول فرآیند اچ کردن SiC مقاومت کند. مقاومت عالی در برابر خوردگی آن مستقیماً به عمر طولانیتر و فرکانس تعویض قطعات کمتر ترجمه میشود، نه تنها زمان از کار افتادن تجهیزات را کاهش میدهد، بلکه خطر آلودگی ذرات ناشی از سایش قطعات را نیز به میزان قابل توجهی کاهش میدهد و بازدهی جامع طولانیمدت و پایداری را برای شما به ارمغان میآورد.
2. طراحی مهندسی دقیق فرآیند سازگار را تضمین می کند
هر حلقه فوکوس Veteksemicon تحت ماشینکاری CNC فوقالعاده دقیق قرار میگیرد تا اطمینان حاصل شود که ابعاد کلیدی مانند صافی، قطر داخلی و ارتفاع پله به دقت در سطح میکرون میرسند و از تطابق کامل با سازنده تجهیزات اصلی (OEM) اطمینان حاصل میکنند. تیم مهندسی ما بیشتر نمایه را با استفاده از شبیه سازی پلاسما بهینه می کند. این طرح به طور موثر میدان الکتریکی را هدایت میکند و حکاکی غیرعادی را در لبههای ویفر کاهش میدهد و بنابراین یکنواختی حکاکی کل ویفر را تا حد زیادی کنترل میکند.
3. عملکرد قابل اعتماد کارایی تولید را بهبود می بخشد
در محیط های پر تقاضا برای تولید انبوه، ارزش کامل محصولات ما درک می شود. حلقه فوکوس Veteksemicon با اطمینان از توزیع متمرکز و پایدار پلاسما، مستقیماً به بهبود یکنواختی نرخ اچ و بهینهسازی تکرارپذیری فرآیند دسته به دسته کمک میکند. این بدان معنی است که خط تولید شما می تواند به طور مداوم محصولات با بازده بالا ارائه دهد، در حالی که از چرخه های نگهداری طولانی تر نیز بهره مند می شود، به طور موثر هزینه های مصرفی هر ویفر را کاهش می دهد و مزیت رقابتی قابل توجهی به شما می دهد.
4. تأیید صحت زنجیره زیست محیطی
راستیآزمایی زنجیره زیستمحیطی حلقه تمرکز Veteksemicon مواد خام را برای تولید پوشش میدهد، گواهی استاندارد بینالمللی را گذرانده است و دارای تعدادی فناوری ثبت اختراع برای اطمینان از قابلیت اطمینان و پایداری آن در زمینههای نیمهرسانا و انرژیهای جدید است.
برای مشخصات فنی دقیق، کاغذهای سفید یا ترتیبات آزمایش نمونه، لطفاً با تیم پشتیبانی فنی ما تماس بگیرید تا بررسی کنید که چگونه Veteksemicon می تواند کارایی فرآیند شما را افزایش دهد.
فیلدهای برنامه اصلی
جهت برنامه
سناریوی معمولی
ساخت دستگاه قدرت SiC
حکاکی گیت و مزای ماسفت، SBD، IGBT و سایر دستگاه ها.
دستگاه های RF GaN-on-SiC
فرآیند اچ برای دستگاه های فرکانس رادیویی با فرکانس بالا و توان بالا.
حکاکی عمیق دستگاه MEMS
پردازش سیستم میکرو الکترومکانیکی که دارای الزامات بسیار بالایی در مورفولوژی و یکنواختی اچ است.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
ما از کوکی ها استفاده می کنیم تا تجربه مرور بهتری به شما ارائه دهیم، ترافیک سایت را تجزیه و تحلیل کنیم و محتوا را شخصی سازی کنیم. با استفاده از این سایت، شما با استفاده ما از کوکی ها موافقت می کنید. سیاست حفظ حریم خصوصی