حلقه فوکوس SiC جامد

6. زمینه های برنامه اصلی

7. مزایای هسته فوکوس حلقه SiC جامد Veteksem

مقاومت در برابر خوردگی پلاسما عالی

تحت قرار گرفتن طولانی مدت در معرض پلاسمای بسیار خورنده و با چگالی بالا مانند CF4، O2 و Cl2، مواد معمولی مستعد سایش سریع و آلودگی ذرات هستند. حلقه فوکوس SiC جامد ما مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی نشان می دهد، با نرخ خوردگی بسیار کمتر از موادی مانند کوارتز یا آلومینا. این بدان معنی است که سطح صافی را در طول زمان حفظ می کند، به طور قابل توجهی خطر نقص ویفر ناشی از سایش و پارگی قطعات را کاهش می دهد و تولید انبوه مداوم و پایدار را تضمین می کند.

پایداری دمای بالا و عملکرد مدیریت حرارتی عالی

فرآیند اچینگ نیمه هادی گرمای قابل توجهی تولید می کند که باعث می شود اجزای محفظه نوسانات دما را تجربه کنند. حلقه های فوکوس ما دارای ضریب انبساط حرارتی بسیار پایینی هستند که قادر به تحمل دمای گذرا تا 1600 درجه سانتیگراد بدون ترک یا تغییر شکل هستند. علاوه بر این، رسانایی حرارتی بالای ذاتی آنها به پخش یکنواخت و سریع گرما کمک می کند و به طور موثر توزیع دما در لبه ویفر را بهبود می بخشد و در نتیجه افزایش می یابد.یکنواختی اچینگ و سازگاری ابعاد بحرانی در کل ویفر.

خلوص مواد فوق العاده و چگالی ساختاری

ما به شدت خلوص مواد خام کاربید سیلیکون (99.999 ≥٪) را کنترل می کنیم و آلودگی فلزی را در طول فرآیند پخت حذف می کنیم تا نیازهای سختگیرانه فرآیندهای تولید پیشرفته برای کنترل ناخالصی های ردیابی را برآورده کنیم. ساختار متراکم تشکیل شده از طریق تف جوشی در دمای بالا دارای تخلخل بسیار کم است و تقریباً به طور کامل نفوذ گازهای فرآیند و محصولات جانبی را مسدود می کند. این از تخریب عملکرد و رشد ذرات ناشی از تخریب مواد داخلی جلوگیری می کند و محیط محفظه فرآیند خالص را تضمین می کند.

عمر مکانیکی طولانی مدت و مقرون به صرفه بودن جامع

در مقایسه با مواد مصرفی معمولی که نیاز به تعویض مکرر دارند، حلقه های فوکوس جامد SiC Veteksemi دوام فوق العاده ای را ارائه می دهند. آنها عملکرد پایدار خود را در طول عمر سرویس خود حفظ می کنند و چرخه های تعویض را چندین بار افزایش می دهند. این نه تنها مستقیماً هزینه های خرید قطعات یدکی را کاهش می دهد، بلکه به طور قابل توجهی استفاده از ماشین را با کاهش زمان خرابی تجهیزات برای تعمیر و نگهداری بهبود می بخشد و در نتیجه مزایای هزینه کلی قابل توجهی برای مشتریان به همراه دارد.

کنترل اندازه دقیق و خدمات سفارشی سازی انعطاف پذیر

ما نیازهای دقیق ماشین آلات و فرآیندهای مختلف را برای مواد مصرفی درک می کنیم. هر حلقه فوکوس تحت ماشین‌کاری دقیق و آزمایش‌های دقیق قرار می‌گیرد تا از تحمل‌های ابعادی بحرانی در ± ۰.۰۵ میلی‌متر اطمینان حاصل شود. ما همچنین خدمات سفارشی را ارائه می دهیم، از جمله اندازه های سفارشی، پرداخت سطح (صیقل دادن به Ra ≤ 0.2μm)، و تنظیمات رسانایی کاملاً مطابق با نیازهای فرآیند خاص و سناریوهای کاربردی شما.

برای مشخصات فنی دقیق، کاغذهای سفید، یا ترتیبات آزمایش نمونه، لطفاً با تیم پشتیبانی فنی ما تماس بگیرید تا بررسی کنید که چگونه Veteksemi می تواند کارایی فرآیند شما را افزایش دهد.