حلقه پشتیبانی پوشش داده شده SIC

نیمه هادی VeTek، تولید کننده و تامین کننده پیشرو مستقر در چین، متخصص در تولید طیف وسیعی از محصولات از جملهحلقه های پشتیبانی با پوشش SiC، پوشش های کاربید سیلیکون CVD ، پوشش های کاربید Tantalum ، فله SIC ، پودرهای SIC و مواد SIC با خلوص بالا. فداکاری ما در ارائه کمک های فنی جامع و قطعنامه های بهینه محصول متناسب با بخش نیمه هادی است. برای کسب اطلاعات بیشتر و کمک ، احساس راحتی کنید.

نیمه هادی VeTekسویحلقه های پشتیبانی با پوشش SiCنسل جدیدی از مواد مقاوم در برابر دمای بالا هستند. به عنوان پوشش‌های مقاوم در برابر خوردگی، پوشش‌های مقاوم در برابر اکسیداسیون و پوشش‌های مقاوم در برابر سایش، می‌توانند در محیط‌های بالاتر از 1650 درجه سانتیگراد استفاده شوند و به طور گسترده در زمینه‌های نیمه‌رسانا استفاده می‌شوند.

ویژگی های با کیفیت بالاحلقه های پشتیبانی با پوشش SiCنقش بسیار مهمی در رشد همپایی اجزای نیمه هادی نسل سوم دارند.

حفظ یکنواختی دما: حلقه های پشتیبانی پوشش داده شده SIC دارای هدایت حرارتی عالی هستند و می توانند توزیع دمای یکنواخت را در طول رشد اپیتاکسی فراهم کنند. این امر به کاهش شیب های حرارتی و تنش های روی سطح ویفر کمک می کند و از این طریق کیفیت لایه اپیتاکسیال را بهبود می بخشد.

پایداری شیمیایی شدید: در طی فرآیند رشد اپیتاکسیال ،حلقه های پشتیبانی با پوشش SiCقادر به مقاومت در برابر حمله شیمیایی ناشی از گازهای واکنش، افزایش عمر حلقه های نگهدارنده و حفظ یکپارچگی فرآیند هستند. این پایداری شیمیایی به کاهش خطر آلودگی و بهبود خلوص و عملکرد دستگاه های نیمه هادی کمک می کند.

موقعیت یابی دقیق: حلقه های پشتیبانی از روکش SIC قادر به حفظ موقعیت دقیق ویفر هستند ، که برای دستیابی به رسوب لایه یکنواخت بسیار مهم است. این موقعیت یابی دقیق به اطمینان از قوام ضخامت و کیفیت لایه اپیتاکسیال کمک می کند.

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC:

فروشگاه تولید نیمه هادی VeTek:

نمای کلی زنجیره صنعت Epitaxy تراشه نیمه هادی: