کوره اکسیداسیون و انتشار

کوره های اکسیداسیون و انتشار در زمینه های مختلفی مانند دستگاه های نیمه هادی، دستگاه های گسسته، دستگاه های الکترونیک نوری، دستگاه های الکترونیکی قدرت، سلول های خورشیدی و تولید مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ استفاده می شوند. آنها برای فرآیندهایی از جمله انتشار، اکسیداسیون، بازپخت، آلیاژسازی و تف جوشی ویفرها استفاده می شوند.

VeTek Semiconductor یک تولید کننده پیشرو و متخصص در تولید قطعات گرافیت با خلوص بالا، کاربید سیلیکون و کوارتز در کوره های اکسیداسیون و انتشار است. ما متعهد به ارائه قطعات کوره با کیفیت بالا برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک هستیم و در خط مقدم فناوری پوشش سطحی مانند CVD-SiC، CVD-TaC، pyrocarbon و غیره قرار داریم.

مزایای اجزای کاربید سیلیکون نیمه هادی VeTek:

مقاومت در برابر دمای بالا (تا 1600 ℃)

هدایت حرارتی عالی و پایداری حرارتی

مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی خوب

ضریب انبساط حرارتی پایین

استحکام و سختی بالا

عمر طولانی

در کوره های اکسیداسیون و انتشار، به دلیل وجود دمای بالا و گازهای خورنده، بسیاری از اجزاء نیاز به استفاده از مواد با دمای بالا و مقاوم در برابر خوردگی دارند که در این میان کاربید سیلیکون (SiC) یک انتخاب رایج است. موارد زیر اجزای متداول کاربید سیلیکون موجود در کوره های اکسیداسیون و کوره های انتشار هستند:

قایق ویفر

قایق ویفر سیلیکونی کاربید ظرفی است که برای حمل ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود که می تواند دمای بالا را تحمل کند و با ویفرهای سیلیکونی واکنش نشان نمی دهد.

لوله کوره

لوله کوره جزء اصلی کوره انتشار است که برای قرار دادن ویفرهای سیلیکونی و کنترل محیط واکنش استفاده می شود. لوله های کوره کاربید سیلیکون عملکرد عالی در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی دارند.

صفحه بافل

برای تنظیم جریان هوا و توزیع دما در داخل کوره استفاده می شود

لوله محافظ ترموکوپل

برای محافظت از ترموکوپل های اندازه گیری دما از تماس مستقیم با گازهای خورنده استفاده می شود.

دست و پا زدن کنسول

پاروهای کنسول کاربید سیلیکون در برابر دمای بالا و خوردگی مقاوم هستند و برای انتقال قایق های سیلیکونی یا قایق های کوارتزی که ویفرهای سیلیکونی را به داخل لوله های کوره پخش می برند استفاده می شود.

انژکتور گاز

برای وارد کردن گاز واکنش به کوره استفاده می شود، باید در برابر دمای بالا و خوردگی مقاوم باشد.

ناو قایق

حامل قایق ویفر کاربید سیلیکون برای تثبیت و پشتیبانی ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود که دارای مزایایی مانند استحکام بالا، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری ساختاری خوب است.

درب کوره

همچنین ممکن است از پوشش ها یا اجزای سیلیکون کاربید در داخل درب کوره استفاده شود.

عنصر گرمایش

عناصر گرمایش کاربید سیلیکون برای دماهای بالا، قدرت بالا مناسب هستند و می توانند به سرعت دما را به بیش از 1000 درجه سانتیگراد افزایش دهند.

لاینر SiC

برای محافظت از دیواره داخلی لوله های کوره استفاده می شود، می تواند به کاهش اتلاف انرژی گرمایی و مقاومت در برابر محیط های سخت مانند دمای بالا و فشار بالا کمک کند.