دستمال های کانسیلر sic

ⅰ. بررسی اجمالی استفاده از محصول

بالشتک های Cantilever Sic عمدتاً در تجهیزات تولید نیمه هادی به عنوان پشتیبانی ویفر و اجزای انتقال استفاده می شوند. عملکرد اصلی آن برای پردازش پایدار و دقیق ویفرهای سیلیکون در شرایط فرآیند شدید مانند دمای بالا و خوردگی بالا ، اطمینان از یک فرآیند تولید صاف و کارآمد است.

.

SIC یک ماده سرامیکی پیشرفته است که خصوصیات بدنی عالی آن مزیت بی نظیری را در میدان نیمه هادی به آن می بخشد. در زیر پارامترهای کلیدی فیزیکی مربوط به بالشتک های cantilever sic:

● خلوص بالا: استفاده از مواد SIC با خلوص بالا می تواند آلودگی فرآیند را به حداقل برساند و عملکرد محصول را بهبود بخشد.

● مقاومت عالی درجه حرارت بالا: SIC دارای نقطه ذوب حداکثر 2830 درجه سانتیگراد است ، که این امکان را برای حفظ یکپارچگی ساختاری در محیط های دمای شدید مانند اچ پلاسما و بازپرداخت دما بالا فراهم می کند و دمای عملیاتی طولانی مدت می تواند به بیش از 1000 درجه سانتیگراد برسد.

● سختی و مقاومت در برابر سایش: سختی Mohs 9-9.5 است ، دوم به الماس ، به بالشتک های سیکل Cantilever مقاومت در برابر سایش عالی و حفظ ثبات بعدی در هنگام انتقال ویفر با فرکانس بالا.

ard هدایت حرارتی عالی: هدایت حرارتی سرامیک سیک به اندازه 120-250 W/(M · K) (مقدار معمولی) است که می تواند به سرعت گرما را از بین ببرد و از گرمای موضعی که ممکن است به ویفر آسیب برساند ، جلوگیری کند.

ضریب انبساط حرارتی کم: ضریب انبساط حرارتی کم (حدود 10 × 10 × در K) ثبات بعدی را در هنگام تغییر دما تضمین می کند ، از استرس ناشی از انبساط حرارتی و انقباض جلوگیری می کند و در نتیجه خطر آسیب ویفر را کاهش می دهد.

ⅲ سناریوهای کاربردی دستگیره های سیک

خصوصیات منحصر به فرد از بالشتک های cantilever sic ، آنها را قادر می سازد تا نقش مهمی در پیوندهای متعدد تولید نیمه هادی داشته باشند:

● Plasma etching equipment: در محفظه اچینگ پلاسما ، بالشتک های سیکل سیک به عنوان پشتیبانی ویفر عمل می کنند ، که می تواند در برابر بمباران پلاسما و فرسایش گاز خورنده ضمن حفظ ثبات بعدی ، اطمینان از دقت اچ و گسترش عمر تجهیزات مقاومت کند.

● تجهیزات رسوب فیلم نازک (CVD/PVD): در فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب بخار فیزیکی (PVD) ، از بالشتک های سیکل سیکل برای حمایت از ویفرها استفاده می شود. مقاومت عالی درجه حرارت بالا و هدایت حرارتی آنها به گرم کردن یکنواخت ویفرها و جلوگیری از آلودگی ذرات تولید شده در طی فرآیند رسوب فیلم نازک کمک می کند.

● سیستم انتقال ویفر: در سیستم انتقال خودکار ویفر ، دستگیره های سیکل Cantilever می توانند به دلیل سختی و مقاومت در برابر سایش ، در برابر حرکت مکانیکی با فرکانس بالا مقاومت کنند و از انتقال دقیق و سریع ویفرها بین اتاق های فرآیند مختلف اطمینان حاصل کنند و خطر آسیب ویفر و آلودگی را کاهش می دهند.

frome فرآیند بازپرداخت درجه حرارت بالا: در کوره پخت و پز با دمای بالا ، بالشتک های Cantilever Sic می توانند در برابر محیط های درجه حرارت فوق العاده بالا مقاومت کنند ، پشتیبانی پایدار برای ویفرها ارائه دهند و یکنواختی و اثربخشی روند بازپرداخت را تضمین کنند.

Veteksemicon به خوبی از نیازهای دقیق فرآیندهای نیمه هادی برای کیفیت محصول آگاه است. بنابراین ، ما از خدمات سفارشی پشتیبانی می کنیم و می توانیم با توجه به تجهیزات خاص و الزامات فرآیند شما ، طراحی و تولید cantilever cantilever سفارشی را ارائه دهیم. و ما همچنین کنترل کیفیت دقیق را کنترل خواهیم کرد تا اطمینان حاصل شود که هر محصول تحت بازرسی های دقیق با کیفیت قرار می گیرد تا اطمینان حاصل شود که از بالاترین استانداردهای صنعت برخوردار است.

مهمتر از همه ، تیم فنی نیمه هادی Vetek مشاوره فنی و راه حل های محصول جامع را در اختیار شما قرار می دهد. انتخاب دست و پا زدن cantilever sic ما به معنای انتخاب راندمان تولید بالاتر ، عمر تجهیزات طولانی تر و عملکرد بهتر محصول است. مشتاقانه منتظر مشاوره بیشتر خود هستم.