کوره اکسیداسیون و انتشار

کوره های اکسیداسیون و انتشار در زمینه های مختلف مانند دستگاه های نیمه هادی ، دستگاه های گسسته ، دستگاه های نوری ، دستگاه های الکترونیکی قدرت ، سلولهای خورشیدی و ساخت مدار یکپارچه در مقیاس بزرگ استفاده می شود. آنها برای فرایندهایی از جمله انتشار ، اکسیداسیون ، بازپخت ، آلیاژ و پخت ویفرها استفاده می شوند.

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده برجسته است که متخصص در تولید گرافیت با خلوص بالا ، کاربید سیلیکون و اجزای کوارتز در کوره های اکسیداسیون و انتشار است. ما متعهد به ارائه اجزای کوره با کیفیت بالا برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک هستیم و در صدر فناوری پوشش سطح مانند CVD-SIC ، CVD-TAC ، پیروکربن و غیره قرار داریم.

مزایای اجزای کاربید نیمه هادی ویتک:

● مقاومت در برابر دمای بالا (حداکثر 1600)

ard هدایت حرارتی عالی و پایداری حرارتی

reg مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی خوب

● کم ضریب انبساط حرارتی

strength قدرت و سختی بالا

● عمر طولانی مدت

در کوره های اکسیداسیون و انتشار ، به دلیل وجود گازهای درجه حرارت بالا و خورنده ، بسیاری از مؤلفه ها به استفاده از مواد با درجه حرارت بالا و مقاوم در برابر خوردگی نیاز دارند ، که در میان آنها کاربید سیلیکون (SIC) یک انتخاب متداول است. موارد زیر اجزای کاربید سیلیکون رایج است که در کوره های اکسیداسیون و کوره های انتشار یافت می شود:

● قایق ویفر

قایق ویفر کاربید سیلیکون ظرفی است که برای حمل ویفرهای سیلیکون استفاده می شود که می تواند در برابر درجه حرارت بالا مقاومت کند و با ویفرهای سیلیکونی واکنش نشان نمی دهد.

● لوله کوره

لوله کوره جزء اصلی کوره انتشار است که برای اسکان ویفرهای سیلیکون و کنترل محیط واکنش استفاده می شود. لوله های کوره کاربید سیلیکون عملکرد مقاومت در برابر دمای بالا و خوردگی دارند.

● بشقاب بافل

برای تنظیم جریان هوا و توزیع دما در داخل کوره استفاده می شود

tube لوله حفاظت ترموکوپل

برای محافظت از ترموکوپل های اندازه گیری دما در برابر تماس مستقیم با گازهای خورنده استفاده می شود.

● دست و پنجه نرم کن

بالشتک های کانسیلر کاربید سیلیکون در برابر درجه حرارت بالا و خوردگی مقاوم هستند و برای انتقال قایق های سیلیکونی یا قایق های کوارتز حامل ویفرهای سیلیکون به لوله های کوره انتشار استفاده می شود.

injector گاز

برای معرفی گاز واکنش به کوره استفاده می شود ، باید در برابر درجه حرارت بالا و خوردگی مقاوم باشد.

carry حامل قایق

حامل قایق ویفر کاربید سیلیکون برای رفع و پشتیبانی از ویفرهای سیلیکون ، که مزایایی از قبیل مقاومت بالا ، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری ساختاری خوب دارند ، استفاده می شود.

● درب کوره

از پوشش های کاربید سیلیکون یا اجزای آن نیز ممکن است در قسمت داخلی درب کوره استفاده شود.

lete عنصر گرمایش

عناصر گرمایش کاربید سیلیکون برای درجه حرارت بالا ، قدرت بالا مناسب هستند و می توانند به سرعت درجه حرارت را به بیش از 1000 افزایش دهند.

● آستر sic

مورد استفاده برای محافظت از دیواره داخلی لوله های کوره ، می تواند به کاهش از بین رفتن انرژی گرما و مقاومت در برابر محیط های سخت مانند دمای بالا و فشار بالا کمک کند.

View as

قایق ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون

VeTek Semiconductor در ارائه قایق‌های ویفر با کیفیت بالا، پایه‌ها و حامل‌های ویفر سفارشی در پیکربندی‌های عمودی/ستونی و افقی برای برآوردن الزامات مختلف فرآیند نیمه‌رسانا تخصص دارد. قایق ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون ما به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده پیشرو فیلم های پوشش کاربید سیلیکون، به دلیل مقرون به صرفه بودن و کیفیت عالی مورد علاقه بازارهای اروپایی و آمریکایی است و به طور گسترده در فرآیندهای ساخت نیمه هادی پیشرفته استفاده می شود. VeTek Semiconductor متعهد به ایجاد روابط همکاری طولانی مدت و پایدار با مشتریان جهانی است و به ویژه امیدوار است که شریک قابل اعتماد فرآیند نیمه هادی شما در چین باشد.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

دست و پا زدن سیلیکون کاربید (SiC).

نقش سیلیکون کاربید (SiC) Cantilever Paddle در صنعت نیمه هادی پشتیبانی و انتقال ویفرها است. در فرآیندهای با دمای بالا مانند انتشار و اکسیداسیون، پدل کنسول SiC می‌تواند قایق‌های ویفر و ویفرها را بدون تغییر شکل یا آسیب ناشی از دمای بالا به طور پایدار حمل کند و از پیشرفت روان فرآیند اطمینان حاصل کند. یکنواخت کردن انتشار، اکسیداسیون و سایر فرآیندها برای بهبود قوام و بازده پردازش ویفر بسیار مهم است. VeTek Semiconductor از فناوری پیشرفته برای ساخت دست و پا زدن کنسول SiC با کاربید سیلیکون با خلوص بالا استفاده می کند تا اطمینان حاصل شود که ویفرها آلوده نمی شوند. VeTek Semiconductor مشتاق همکاری طولانی مدت با شما در مورد محصولات Cantilever Paddle Carbide سیلیکون (SiC) است.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

بوته کوارتز

نیمه هادی Vetek یک تأمین کننده و تولید کننده پیشرو کوارتز در چین است. صلیب کوارتز که ما تولید می کنیم عمدتاً در قسمتهای نیمه هادی و فتوولتائیک استفاده می شود. آنها خواص پاکیزگی و مقاومت در برابر دمای بالا را دارند. و کوارتز ما برای نیمه هادی از فرآیندهای تولیدی میله سیلیکون ، بارگیری و تخلیه مواد اولیه پلیسیلیکون در فرآیند تولید نیمه هادی سیلیکون ویفر پشتیبانی می کند و مواد مصرفی اصلی برای تولید ویفر سیلیکون هستند. نیمه هادی Vetek مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک بلند مدت شما در چین است.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حامل ویفر سیلیکون کاربید

به عنوان یک تأمین کننده حامل ویفر کاربید سیلیکون حرفه ای در چین ، حامل ویفر نیمه هادی Vetek Vetek ابزاری است که به طور خاص برای کنترل و پردازش ویفرهای نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد ، که در فرآیند ویفر نیمه هادی نقش غیر قابل تعویض دارد. به مشاوره بیشتر خود خوش آمدید.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

پایه سیلیکون

پایه نیمه هادی سیلیکون وتک یک مؤلفه اصلی در فرایندهای انتشار و اکسیداسیون نیمه هادی است. به عنوان یک سکوی اختصاصی برای حمل قایق های سیلیکونی در کوره های درجه حرارت بالا ، پایه سیلیکون دارای مزایای منحصر به فردی بسیاری از جمله بهبود یکنواختی دما ، کیفیت ویفر بهینه شده و افزایش عملکرد دستگاههای نیمه هادی است. برای اطلاعات بیشتر در مورد محصول ، لطفاً با ما تماس بگیرید.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه مهر و موم سرامیکی sic

به عنوان یک کارخانه در مقیاس بزرگ و تأمین کننده محصولات حلقه مهر و موم سرامیکی SIC در چین ، حلقه مهر و موم سرامیکی نیمه هادی SIC Vetek به دلیل هدایت حرارتی عالی ، مقاومت در برابر شیمیایی و خوردگی برجسته و مقاومت بالا و استحکام و سفتی ، دارای طیف گسترده ای از کاربردهای در میدان صنعتی است. از سوالات بیشتر خود استقبال کنید.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.

کد QR

درباره ما

محصولات

با ما تماس بگیرید

تلفن
+86-18069220752
فکس
+86-579-87223657
پست الکترونیک
anny@veteksemi.com
نشانی
جاده Wangda ، خیابان Ziyang ، شهرستان Wuyi ، شهر Jinhua ، استان ژجیانگ ، چین

منوی وب

جستجوی محصول

زبان

خروج از منو

کوره اکسیداسیون و انتشار

مزایای اجزای کاربید نیمه هادی ویتک:

قایق ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون

دست و پا زدن سیلیکون کاربید (SiC).

بوته کوارتز

حامل ویفر سیلیکون کاربید

پایه سیلیکون

حلقه مهر و موم سرامیکی sic

ارسال استعلام

کد QR

درباره ما

محصولات

با ما تماس بگیرید

تلفن

فکس

پست الکترونیک

نشانی