قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا

قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا نیمه هادی Vetek از کوارتز با خلوص فوق العاده بلند ساخته شده است که دارای ویژگی های کم هیدروکسیل ، خلوص بالا و مقاومت شدید درجه حرارت بالا است. این ماده همچنین در صنعت نیمه هادی به عنوان ماده ای برای کوره های انتشار و اجزای کوره CVD مورد استفاده قرار می گیرد. به عنوان یک ظرف برای حمل ویفرهای سیلیکونی ، ویفر قایق کوارتز با خلوص بالا در مزارع نیمه هادی ، فتوولتائیک ، شیمیایی و سایر زمینه ها استفاده شده است.

سناریوهای کاربردی

اول میدان نیمه هادی است. فرآیند عملیات حرارتی ویفرها از جمله اکسیداسیون حرارتی، انتشار، بازپخت و غیره بسیار مهم است. از طریق فرآیند عملیات حرارتی، ما به ویفرها ویژگی های جدیدی می دهیم.

لوله های هسته کوره دسته ای برای فرآیندهای پردازش ویفر نیمه هادی مانند اکسیداسیون حرارتی ، انتشار درجه حرارت بالا ، آنیل شدن و رسوب فیلم نازک استفاده می شود. کوره گرمایش دسته ای عمدتا برای گرم کردن بدن کوره توسط کویل ها برای تکمیل عملیات حرارتی استفاده می شود. با توجه به سازه های مختلف کار ، لوله های هسته کوره دسته ای را می توان به کوره های افقی و کوره های عمودی تقسیم کرد:

(1) قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا از کوره افقی به صورت افقی قرار می گیرد ، بنابراین به آن کوره افقی گفته می شود.

در فرآیند عملیات حرارتی ، ویفر بر روی قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا بارگذاری می شود ، که به آرامی وارد لوله کوره کوارتز می شود و ویفر در یک منطقه دمای ثابت برای پردازش قرار می گیرد. پس از انتظار برای تکمیل فرآیند ، قایق کوارتز مورد استفاده ویفر به آرامی از کوره کوارتز بیرون کشیده می شود تا از آسیب دیدن ویفر به دلیل تغییر ناگهانی دما جلوگیری شود. کوره های افقی به طور گسترده ای در فرآیند انتشار مدارهای یکپارچه با قطر ویفر کمتر از 200 میلی متر استفاده می شوند. 

مزایای کوره های افقی عبارتند از فرآیند ساده ، یکنواختی خوب بین ویفرها و امکان پردازش چندین ویفرها به طور همزمان. معایب آن سرعت گرمایش آهسته ، اندازه تجهیزات بزرگ ، مشکل در اتوماسیون و ورود آسان به هوای خارجی هنگام بارگیری و بارگیری ویفرها است.

(2) قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا کوره عمودی به صورت عمودی قرار می گیرد، بنابراین به آن کوره عمودی می گویند.

ویفر روی برج کوارتز بارگذاری شده و به آرامی برای گرم کردن به لوله کوره کوارتز بالا می رود. در طی فرآیند گرمایش ، قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا به آرامی می چرخد ​​تا اطمینان حاصل شود که ویفر به طور مساوی گرم می شود. پس از پردازش ، برج کوارتز به آرامی فرود می آید تا از تغییرات دما که ممکن است باعث آسیب ویفر شود ، جلوگیری شود. کوره های عمودی عمدتاً در فرآیند مدار یکپارچه ویفرهای قطر 200 میلی متر و 300 میلی متر استفاده می شوند. فناوری اصلی کوره های عمودی در کنترل میدان دمای با دقت بالا ، کنترل ذرات ، کنترل میکرو اکسیژن میکرو اکسیژن و موتور سازی قرار دارد. مزایای کوره های عمودی عبارتند از لایه اکسید طبیعی نازک ، یکنواختی خوب ، اتوماسیون آسانتر ، ردپای تجهیزات کوچک و پردازش دسته ای. نقطه ضعف این است که سرعت گرمایش کند است.

در میدان فتوولتائیک ، فرآیند تولید سلولهای فتوولتائیک به قایق های کوارتز برای حمل و حمل ویفرهای سیلیکون در فرآیند انتشار درجه حرارت بالا نیاز دارد. درمان درجه حرارت بالا در یک نیتروژن ، اکسیژن یا سایر جوهای بی اثر ، مانند انتشار فسفر یا انتشار بور ، گام مهمی در فرآیند تولید سلولهای خورشیدی است. هدف این است که یک محل اتصال PN در ویفر سیلیکون تشکیل شود.

قایق کوارتز دارای شکاف هایی است که در داخل آن دقیقاً طراحی شده است تا اطمینان حاصل شود که ویفر سیلیکونی موقعیت دقیق خود را در طول فرآیند انتشار در دمای بالا حفظ می کند و به طور یکنواخت گرم می شود. از آنجایی که ماده کوارتز مقاومت خوبی در برابر دمای بالا و پایداری شیمیایی دارد، ویفر سیلیکونی را آلوده نمی کند، که برای حفظ تمیزی بالای محیط تولید مفید است.

به عنوان یک مبتکر و پیشرو در بازار قایق های کوارتز استفاده شده ویفر چین، چه در صنعت نیمه هادی یا صنعت فتوولتائیک مشغول باشید، تا زمانی که به قایق ویفر کوارتز با خلوص بالا نیاز دارید، لطفاً از ما قیمت بخواهید و ما قادر به خیاطی خواهیم بود. آن را برای شما با توجه به نیاز شما.

نیمه هادی VeTek فروشگاه های محصولات: