حامل ویفر برای VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

ویژگی های محصول：

1. پایه گرافیتی با خلوص بالا با لایه متراکم CVD SiC
2. یکنواختی حرارتی خوب برای اپیتاکسی LED پایدار
3. در برابر NH3، HCl و سایر گازهای خورنده استفاده شده در این فرآیند مقاومت می کند
4. ریزش ذرات کم و عمر طولانی
5. طرح های جیبی را می توان برای اندازه های مختلف ویفر و پلت فرم های راکتور سفارشی کرد
6. برای عملکرد طولانی مدت MOCVD در دمای بالا به خوبی کار می کند

برنامه های کاربردی:
این حامل های ویفر به طور گسترده در اپیتاکسی نیمه هادی LED و مرکب استفاده می شود، از جمله:

• اپیتاکسی ال ای دی GaN
• اپیتاکسی LED سبز آبی
• رشد عمیق UV LED
• اپیتاکسی GaN مبتنی بر Si
• تولید نیمه هادی مرکب عمومی

راه حل های حامل سفارشی متناسب با چندین پلت فرم LED MOCVD، مانند:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

مزایای فنی:

1. پوشش CVD SiCفناوری که چگالی و خلوص خوبی به شما می دهد
2. تغییر ضخامت پوشش در ± 10 میکرومتر حفظ می شود - به پایدار ماندن عملکرد حرارتی کمک می کند
3. ماشینکاری CNC با دقت 3 میکرومتر برای تناسب خوب ویفر و پایداری چرخش
4. پوشش پس از تکرار چرخه های MOCVD در دمای بالا به خوبی می چسبد و در برابر ترک خوردن مقاومت می کند
5. بدون مشکل NH3، HCl و سایر محیط های اپیتاکسی خشن را کنترل می کند
6. تولید ذرات کم و سطح تمیز برای پشتیبانی از عملکرد بالااپیتاکسی LED
7. می تواند اندازه های بزرگ یا سفارشی را برای پلت فرم های مختلف راکتور و طرح بندی ویفر پوشش دهد
8. تجربه طولانی باگرافیت سفارشی و قطعات با پوشش SiCبرای اپیتاکسی LED و نیمه هادی مرکب

سوالات متداول:
1. حامل ویفر در چه کاری انجام می دهدMOCVDاپیتاکسی ال ای دی؟

پاسخ: ویفرها را در راکتور MOCVD نگه می دارد و می چرخاند و به ثابت نگه داشتن دما در طول رشد همپایی کمک می کند.

2. چرا از حامل های ویفر گرافیتی با پوشش SiC برای MOCVD استفاده کنیم؟

A:پوشش CVD SiCمقاومت در برابر خوردگی، پایداری حرارتی و دوام بهتری می دهد. همچنین به کاهش آلودگی ذرات در اپیتاکسی در دمای بالا کمک می کند.

3. آیا Vetek Semiconductor حامل های ویفر سفارشی می سازد؟
ج: بله. ما می توانیم حامل های سفارشی را بر اساس پلت فرم راکتور، اندازه ویفر، طرح پاکت و سایر نیازهای فرآیند طراحی کنیم.