قطعه نیمه ماه 8 اینچی برای راکتور LPE

به عنوان تولید کننده حرفه ای ، نیمه هادی Vetek دوست دارد قسمت 8 اینچی با کیفیت بالا را برای راکتور LPE با کیفیت بالا فراهم کند.

قسمت نیمه هادی Vetek 8 اینچ قسمت نیمه اینچی برای راکتور LPE یک مؤلفه اساسی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد ، به ویژه در تجهیزات اپیتاکسیال SIC. نیمه هادی Vetek از یک فناوری ثبت شده برای تولید قسمت 8 اینچ نیمه اینچی برای راکتور LPE استفاده می کند ، و اطمینان می دهد که از خلوص استثنایی ، پوشش یکنواخت و ماندگاری برجسته برخوردار هستند. علاوه بر این ، این قسمت ها از مقاومت شیمیایی قابل توجهی و خواص پایداری حرارتی برخوردار هستند.

بدنه اصلی قسمت نیمه ماه 8 اینچی برای راکتور LPE از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده است که رسانایی حرارتی و پایداری مکانیکی عالی را ارائه می دهد. گرافیت با خلوص بالا به دلیل محتوای ناخالصی کم آن انتخاب می شود که حداقل آلودگی را در طول فرآیند رشد همپایی تضمین می کند. استحکام آن به آن اجازه می دهد تا در شرایط سخت راکتور LPE مقاومت کند.

قطعات نیمه هادی گرافیتی با پوشش SiC نیمه هادی VeTek با نهایت دقت و توجه به جزئیات تولید می شوند. خلوص بالای مواد مورد استفاده تضمین کننده عملکرد و قابلیت اطمینان برتر در تولید نیمه هادی است. پوشش یکنواخت روی این قطعات عملکرد ثابت و کارآمد را در طول عمر مفید آنها تضمین می کند.

یکی از مهمترین مزایای قطعات نیمه گرافیت با روکش SIC ما مقاومت شیمیایی عالی آنها است. آنها می توانند در برابر ماهیت خورنده محیط تولید نیمه هادی مقاومت کنند و از دوام طولانی مدت و به حداقل رساندن نیاز به تعویض های مکرر اطمینان حاصل کنند. علاوه بر این ، ثبات حرارتی استثنایی آنها به آنها امکان می دهد یکپارچگی ساختاری و عملکرد خود را در شرایط درجه حرارت بالا حفظ کنند.

قطعات Halfmoon Graphite با پوشش SIC ما به طور دقیق طراحی شده است تا نیازهای دقیق تجهیزات اپیتاکسیال SIC را برآورده کند. این بخش ها با عملکرد قابل اعتماد آنها به موفقیت فرآیندهای رشد اپیتاکسیال کمک می کنند و امکان رسوب فیلم های SIC با کیفیت بالا را فراهم می کنند.

ساختار کریستالی فیلم پوشش CVD SIC: