حساس سیاره ای پوشش داده شده

SIC SIC CASTERAL SESIPTOR یک حامل سیاره ای است که با آن پوشیده شده استکاربید سیلیکون (SIC)، که عمدتاً در فرآیندهای رسوب ماده نیمه هادی مانند رسوب بخار شیمیایی فلزی و ارگانیک (MOCVD) ، اپیتاکس پرتو مولکولی (MBE) و غیره استفاده می شود. عملکرد اصلی آن حمل و چرخاندن ویفرها برای اطمینان از یکنواختی مواد و قوام میدان حرارتی در حین رسوب است ، و پوشش SIC مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی و هدایت حرارتی را برای نیمه هادی با دقت بالا فراهم می کند.ویفرپردازش

سناریوهای اصلی برنامه برای حساس سیاره ای پوشش داده شده SIC

فرآیند رشد اپیتاکسیال MOCVD

در فرآیند MOCVD ، حساس کننده سیاره ای پوشش داده شده SIC عمدتاً برای حمل ویفرهای سیلیکون (SI) ، کاربید سیلیکون (SIC) ، گالیم نیترید (GAN) ، آرسنید گالیم (GAAS) و سایر مواد استفاده می شود.

● الزامات عملکردی: موقعیت یابی دقیق و چرخش هماهنگ ویفرها برای اطمینان از توزیع یکنواخت مواد بخار بخار بر روی سطح ویفر و تقویت یکنواختی ضخامت فیلم و ترکیب.

● مزیت: پوشش های SIC بسیار مقاوم در برابر خوردگی هستند و می توانند در برابر فرسایش پیش سازهای فلزی بسیار واکنشی مانند Trimethylgallium (TMGA) و Trimethylindium (TMIN) مقاومت کنند و عمر خدمات خود را گسترش دهند.

تولید دستگاه کاربید سیلیکون (SIC)

حساس سیاره ای پوشش داده شده SIC به طور گسترده ای در رشد اپیتاکسیال دستگاه های قدرت SIC مانند MOSFET ، IGBT ، SBD و سایر دستگاه ها مورد استفاده قرار می گیرد.

● الزامات عملکردی: یک سکوی تساوی حرارتی پایدار در محیط های درجه حرارت بالا فراهم کنید تا از کیفیت تبلور لایه اپی کلیسایی و کنترل نقص اطمینان حاصل کنید.

● مزیت: پوشش های SIC در برابر درجه حرارت بالا (> 1600 درجه سانتیگراد) مقاوم هستند و ضریب انبساط حرارتی (10 × 10^-6 K^-1) نزدیک به ویفرهای کاربید سیلیکون ، که به طور موثری تنش های حرارتی را کاهش می دهد و باعث بهبود کیفیت و ثبات لایه اپیتاکیال می شود.

ماوراء بنفش عمیق (DUV) و ماوراء بنفش LED تولید اپیتاکسیال

حساس کننده سیاره ای پوشش داده شده SIC برای رشد اپیتاکسیال موادی مانند گالیم نیترید (GAN) و نیترید گالیم آلومینیوم (آلگان) مناسب است و به طور گسترده در ساخت UV-LEDS و LED های میکرو استفاده می شود.

● الزامات عملکردی: کنترل دقیق دما و توزیع جریان هوا یکنواخت را برای اطمینان از دقت طول موج و عملکرد دستگاه حفظ کنید.

● مزیت: هدایت حرارتی بالا و مقاومت در برابر اکسیداسیون امکان ثبات عالی در دماهای بالا در دوره های طولانی کار را فراهم می کند و به بهبود راندمان درخشان و قوام تراشه های LED کمک می کند.

Vekemicon را انتخاب کنید

Veteksemicon SIC SIC SUSTION PLANETAR SISTERS از مزایای غیر قابل تعویض در دمای بالا ، محیط های تولید نیمه هادی خورنده از طریق خواص مواد منحصر به فرد و طراحی مکانیکی آن را نشان داده است. و محصولات اصلی اصلی ما حساس سیاره ای است که مستعار سیاره ای با پوشش SIC است ،حساس کننده سیاره ای ALD, پوشش TAC حساس سیارهو غیره در همین زمان ، Veteksemicon متعهد است محصولات سفارشی و خدمات فنی را به صنعت نیمه هادی ارائه دهد. ما صمیمانه مشتاقانه منتظر شریک زندگی بلند مدت شما در چین هستیم.