CVD Sic Pancake SoSeptor

آن نیمه هادی است CVD SIC Pancake Susinceor با استفاده از جدیدترین فناوری رسوب بخار شیمیایی (CVD) برای اطمینان از دوام عالی و سازگاری شدید درجه حرارت تولید می شود. موارد زیر خصوصیات اصلی فیزیکی آن است:

● ثبات حرارتی: پایداری حرارتی بالا CVD SIC عملکرد پایدار را در شرایط دمای بالا تضمین می کند.

● ضریب انبساط حرارتی کم: این ماده دارای ضریب انبساط حرارتی بسیار کمی است که باعث می شود پیچ ​​و تاب و تغییر شکل ناشی از تغییرات دما به حداقل برسد.

● مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی: مقاومت شیمیایی عالی ، آن را قادر می سازد تا عملکرد بالا را در انواع محیط های سخت حفظ کند.

پشتیبانی دقیق و انتقال حرارت بهینه شده

پوشش SIC مبتنی بر SIC مبتنی بر SIC Veteksemi برای قرار دادن ویفرهای نیمه هادی و ارائه پشتیبانی عالی در طول رسوب اپیتاکسیال طراحی شده است. SIC PANCAKE SUSPICOR با استفاده از فناوری شبیه سازی محاسباتی پیشرفته برای به حداقل رساندن پیچ و تاب و تغییر شکل در شرایط مختلف دما و فشار طراحی شده است. ضریب انبساط حرارتی معمولی آن در حدود 10 × 4.0 است^-6/° C ، به این معنی که ثبات بعدی آن به طور قابل توجهی بهتر از مواد سنتی در محیط های درجه حرارت بالا است ، در نتیجه قوام ضخامت ویفر (به طور معمول 200 میلی متر تا 300 میلی متر) را تضمین می کند.

علاوه بر این ، حساسیت پنکیک CVD در انتقال حرارت برتری دارد ، با هدایت حرارتی تا 120 W/m · K. این هدایت حرارتی بالا می تواند به سرعت و به طور مؤثر گرما را انجام دهد ، یکنواختی دما را در کوره تقویت کند ، توزیع حرارت یکنواخت را در حین رسوب اپی تکسیال تضمین کند و نقص رسوب ناشی از گرمای ناهموار را کاهش دهد. عملکرد بهینه سازی انتقال حرارت برای بهبود کیفیت رسوب بسیار مهم است ، که می تواند به طور موثری نوسانات فرآیند را کاهش داده و عملکرد را بهبود بخشد.

از طریق این بهینه سازی های طراحی و عملکرد ، CVD SIC CVD CVD SIC SISCAKE SUSPICOR یک پایه محکم برای تولید نیمه هادی ، اطمینان از قابلیت اطمینان و ثبات در شرایط پردازش سخت و برآورده کردن نیازهای دقیق صنعت نیمه هادی مدرن برای دقت و کیفیت بالا فراهم می کند.

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC
دارایی	ارزش معمولی
ساختار بلور	پلی کریستالی فاز FCC β ، به طور عمده (111) گرا
تراکم	3.21 گرم در سانتی متر مربع
سختی	2500 ویکرز سختی （500 گرم بار
اندازه دانه	2 ~ 10 میلی متر
خلوص شیمیایی	99.99995 ٪
ظرفیت حرارت	640 J · kg-1· k-1
دمای تصویب	2700
قدرت انعطاف پذیری	415 MPa RT 4 امتیاز
مدول	430 GPA 4PT Bend ، 1300
هدایت حرارتی	300W · متر-1· k-1
انبساط حرارتی (CTE)	4.5 × 10-6K-1