محصولات
بازوی ربات کاربید سیلیکون
  • بازوی ربات کاربید سیلیکونبازوی ربات کاربید سیلیکون
  • بازوی ربات کاربید سیلیکونبازوی ربات کاربید سیلیکون

بازوی ربات کاربید سیلیکون

بازوی روباتیک سیلیکون کاربید (SIC) ما برای کار با ویفر با کارایی بالا در تولید نیمه هادی پیشرفته طراحی شده است. این بازوی روباتیک ساخته شده از کاربید سیلیکون با خلوص بالا ، مقاومت استثنایی در برابر درجه حرارت بالا ، خوردگی پلاسما و حمله شیمیایی دارد و از عملکرد قابل اعتماد در خواستار محیط های تمیز اطمینان می دهد. استحکام مکانیکی استثنایی و پایداری ابعادی آن ، امکان دستیابی دقیق ویفر ویفر را در حالی که خطرات آلودگی را به حداقل می رساند ، امکان پذیر می کند و آن را به یک انتخاب ایده آل برای MOCVD ، Epitaxy ، کاشت یون و سایر برنامه های مهم دست زدن به ویفر تبدیل می کند. ما از سوالات شما استقبال می کنیم.

بازوی رباتیک کاربید سیلیکون Veteksemicon یک راه حل پردازش نیمه هادی با سطح بالا است که به طور خاص برای محیط های صنعتی سخت طراحی شده است. با استفاده از فن آوری پیشرفته کاربید سیلیسون پیشرفته ، ثبات و دوام استثنایی را در دماهای بالا ، محیط های خورنده و شرایط خلاء فوق العاده بالا نشان می دهد. به عنوان یک مؤلفه اصلی در پردازش های ویفر ، اچ و رسوب ، بازوی روباتیک ما به طور قابل توجهی بهره وری را بهبود می بخشد و هزینه های نگهداری را کاهش می دهد.


ⅰ پارامترهای فنی


طرح
پارامتر
مادی
خلوص بالا
سختی سطحی
2800-3200 HV
ظرفیت بار
3 کیلوگرم/5 کیلوگرم/10 کیلوگرم (مشخصات مختلف موجود)
هدایت حرارتی
هدایت حرارتی
مقاومت
10^3-10^5 Ω ؛ سانتی متر
محیط قابل اجرا
درجه حرارت بالا ، پلاسما ، گاز خورنده ، خلاء فوق العاده بلند
دقت موقعیت یابی را تکرار کنید
0.02 میلی متر

ⅱ Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm مزایای هسته


1. تحمل محیط شدید

بازوی ربات ما از یک پوشش SIC منحصر به فرد فرموله شده استفاده می کند که تحت چندین فرآیند رسوب درجه حرارت بالا قرار دارد و این امکان را برای حفظ یکپارچگی ساختاری در دمای پایدار 1500 درجه سانتیگراد و به طور مؤثر در برابر خوردگی ناشی از بمباران پلاسما و اسید قوی و قلیایی فراهم می کند. این اساساً به نقاط درد مواد سنتی که مستعد پیری هستند و در شرایط کار شدید طول عمر کوتاهی دارند ، می پردازد.


2. خصوصیات مکانیکی عالی

با اتخاذ یک ساختار کامپوزیت از بستر گرافیتی و پوشش SIC ، ما در حالی که اطمینان از بازو بسیار سبک است ، به استحکام بسیار فراتر از مواد فلزی رسیده ایم. این طرح تضمین می کند که تغییر شکل بازوی ربات در حین حرکت با سرعت بالا بسیار کوچک است ، به طور مؤثر سرکوب می شود و از این طریق محکم دقت موقعیت یابی را در 0.02 میلی متر پوند کنترل می کند و از انتقال ایمن ویفرهای دقیق اطمینان می دهد.


3. پاکیزگی فوق العاده بلند

ما می دانیم که آلودگی ذرات قاتل شماره یک عملکرد است. بنابراین ، هر بازوی ربات تحت عمل جراحی دقیق و تخصصی در سطح سطح قرار می گیرد ، و در نتیجه یک زبری سطح RA کمتر از 0.1μm ایجاد می شود. این پوشش با اطمینان از هرگونه خطر لایه برداری جلوگیری می کند. محصولات ما 100 ٪ از پاکیزگی ، کاملاً مورد نیاز اتاق تمیز فوق العاده بالا و آماده استفاده در خطوط تولید پیشرفته قرار دارند.


4. طول عمر طولانی

با تشکر از سختی ذاتی SIC از 3000 HV و مقاومت در برابر سایش عالی ، بازوهای ربات ما حتی پس از ده ها هزار چرخه حرکتی ، حداقل تخریب عملکرد را تجربه می کنند. عمر خدمات آنها چندین برابر از اجزای آلیاژ سرامیکی یا آلومینیوم معمولی است و باعث کاهش چشمگیر خرابی برای جایگزینی و نگهداری می شود و باعث می شود مقرون به صرفه بودن قابل توجهی برای مشتریان ما باشد.


ⅲ زمینه های اصلی برنامه


جهت کاربرد
سناریوی معمولی
Sساخت و ساز
انتقال ، انتقال و موقعیت یابی ویفر
تولید LED
اجزای محفظه واکنش MOCVD
صنعت فتوولتائیک
PECVD ، فرایند انتشار
هوا و فضا
پردازش خودکار در محیط های آزمایش درجه حرارت بالا

تأیید زنجیره اکولوژیکی ویتکسمون سیلیکون کاربید ربات بازوی بازوی مواد اولیه را به تولید پوشش می دهد ، صدور گواهینامه استاندارد بین المللی را پشت سر گذاشته است ، و دارای چندین فناوری ثبت شده برای اطمینان از قابلیت اطمینان و پایداری آن در نیمه هادی و زمینه های انرژی جدید است. در هر زمان به ما مشورت کنید.


Veteksemicon products shop

تگ های داغ: بازوی ربات کاربید سیلیکون
ارسال استعلام
اطلاعات تماس
  • نشانی

    جاده Wangda ، خیابان Ziyang ، شهرستان Wuyi ، شهر Jinhua ، استان ژجیانگ ، چین

  • پست الکترونیک

    anny@veteksemi.com

برای پرس و جو در مورد پوشش کاربید سیلیکون، پوشش کاربید تانتالم، گرافیت ویژه یا لیست قیمت، لطفا ایمیل خود را به ما بسپارید و ما ظرف 24 ساعت با شما تماس خواهیم گرفت.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept