اخبار صنعت

چاک الکترواستاتیک (ESC) ، همچنین به عنوان چاک الکترواستاتیک (ESC ، E-Chuck) شناخته می شود ، یک فیکسچر است که از اصل جذب الکترواستاتیک برای نگه داشتن و رفع مواد جذب شده استفاده می کند. برای محیط های خلاء و پلاسما مناسب است.

حامل های ویفر SIC ، به عنوان مواد مصرفی اصلی در زنجیره صنعت نیمه هادی نسل سوم ، ویژگی های فنی آنها به طور مستقیم بر عملکرد رشد اپیتاکسیال و تولید دستگاه تأثیر می گذارد. با افزایش تقاضا برای دستگاه های با ولتاژ بالا و درجه حرارت بالا در صنایعی مانند ایستگاه های پایه 5G و وسایل نقلیه انرژی جدید ، اکنون تحقیق و کاربرد حامل های ویفر SIC با فرصت های توسعه قابل توجهی روبرو هستند.

سرامیک آلومینا "اسب کار" برای تولید اجزای سرامیکی است. آنها خصوصیات مکانیکی عالی ، نقاط ذوب فوق العاده بالا و سختی ، مقاومت در برابر خوردگی ، پایداری شیمیایی قوی ، مقاومت بالا و عایق الکتریکی برتر را نشان می دهند. آنها معمولاً برای ساخت صفحات جلا دادن ، چاک های خلاء ، بازوهای سرامیکی و قسمت های مشابه استفاده می شوند.