اخبار صنعت

قایق کوارتز یک مؤلفه باربری کلیدی است که در فرآیند تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. این ماده به طور عمده برای پردازش درجه حرارت بالا از ویفرها ، مانند انتشار ، اکسیداسیون و بازپخت استفاده می شود. ثبات حرارتی عالی آن ، خصوصیات آلودگی کم و مقاومت در برابر خوردگی آن را به یک ماده ضروری در صنعت نیمه هادی تبدیل می کند. در این مقاله در مورد مواد ، خصوصیات فیزیکی ، طبقه بندی ، سناریوهای کاربردی قایق کوارتز و تفاوتهای آن از قایق گرافیتی PECVD توضیح داده شده است.

ماده اصلی قایق گرافیتی PECVD ماده گرافیتی ایزوتروپیک با خلوص بالا است (خلوص معمولاً 9999 99 ٪ است) که دارای هدایت الکتریکی عالی ، هدایت حرارتی و چگالی است. در مقایسه با قایق های گرافیتی معمولی ، قایق های گرافیتی PECVD دارای بسیاری از مزایای خاصیت فیزیکی و شیمیایی هستند و عمدتاً در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک به ویژه در فرآیندهای PECVD و CVD استفاده می شوند.

سینی های گرافیتی MOCVD نقش مهمی در فرآیند epitaxial دارند. در این مقاله ، تجزیه و تحلیل مفصلی در مورد انتخاب سینی های گرافیتی MOCVD از منظر خصوصیات مواد و سناریوهای کاربردی ارائه شده است.