اخبار صنعت

سرامیک Sic یک ماده سرامیکی است که با واکنش عناصر سیلیکون (SI) و کربن (C) تولید می شود و دارای سختی بسیار بالایی ، مقاومت در برابر گرما و پایداری شیمیایی است

در دنیای پرشور ساخت نیمه هادی ، دقت و پایداری همه چیز است-و این جایی است که چاک الکترواستاتیک (ESC) قدم می گذارد. بسیار بیشتر از یک ابزار نگهدارنده ، ESC از نیروهای الکترواستاتیک استفاده می کند تا در طی فرآیندهای مهم مانند اچ ، رسوب و کاشت یون ، ویفرها را به طور ایمن ببندد. اما چگونه واقعاً کار می کند؟ چرا نسبت به بستن مکانیکی سنتی برتر است؟ و چه نقشی در دستیابی به دقت نانو و راندمان توان دارد؟ خوش آمدید به خواندن

اصل DeChuck از چاک الکترواستاتیک بخش مهمی از گردش کار آن است که شامل حذف نیروی الکترواستاتیک و مکانیسم های انتشار ویفر است.