خلوص بالا احساس سفت

رشد اپیتاکسیال SiC یک فناوری برای رشد لایه های نازک کاربید سیلیکون با کیفیت بالا بر روی سطح یک بستر است. این فرآیند برای ساخت دستگاه های نیمه هادی کاربید سیلیکون با کارایی بالا، مانند دستگاه های قدرت کاربید سیلیکون و دستگاه های RF کاربید سیلیکون ضروری است. در این فرآیند، محیط رشد، از جمله دما، جریان گاز، فشار و سایر پارامترها، باید به شدت کنترل شود تا از رشد لایه‌های اپیتاکسیال کاربید سیلیکون با کیفیت بالا و خلوص بالا با خواص الکتریکی خوب اطمینان حاصل شود. قطعات گرافیت نیمه ماه پوشش SiC جزء اصلی رشد همپایه SIC است و نمد صلب با خلوص بالا عمدتاً نقش حفظ حرارت قطعات گرافیت نیمه ماه روپوش SiC را ایفا می کند.

نمد صلب با خلوص بالا دارای رسانایی حرارتی خوبی است که می تواند گرمای منبع گرمایش را به طور مساوی در اطراف قطعات گرافیت Halfmoon پوشش SiC توزیع کند و اثر حفظ حرارت خوبی دارد. در طول رشد اپیتاکسیال SiC، می تواند گرما را جذب کرده و به آرامی آزاد کند تا از گرمای بیش از حد موضعی یا سرد شدن بیش از حد جلوگیری شود، به طوری که اختلاف دما در سطح بستر کاربید سیلیکون در محدوده بسیار کمی کنترل می شود و یکنواختی دما معمولاً می تواند به 1± برسد. - 2℃، که برای رشد یک لایه اپیتاکسیال کاربید سیلیکون با ضخامت یکنواخت و خواص الکتریکی ثابت بسیار مهم است.

برخی از گازهای خورنده مانند سیلان (SiH4) و پروپان (C3H8) به عنوان گازهای منبع واکنش در رشد اپیتاکسیال SiC استفاده می شوند. نمد صلب با خلوص بالا تحمل خوبی در برابر این گازهای شیمیایی دارد و می تواند یکپارچگی ساختاری خود را در طول چرخه رشد اپیتاکسیال (که ممکن است برای ساعت ها یا حتی ده ها ساعت طول بکشد) حفظ کند. و خلوص نمد صلب با خلوص بالا بالاتر از 99.99٪ است و موادی را که ممکن است لایه اپیتاکسیال را آلوده کنند به محیط واکنش آزاد نمی کند و در نتیجه خلوص بالای لایه اپیتاکسی کاربید سیلیکون را تضمین می کند.

چگالی مناسب می تواند استحکام مکانیکی و هدایت حرارتی نمد صلب با خلوص بالا را تضمین کند. در حالی که هدایت حرارتی را تضمین می کند، می تواند تداخل عوامل خارجی را بر رشد اپیتاکسیال SiC به حداقل برساند.

در مقایسه با مواد سرامیکی سنتی و مواد فلزی ، گرافیت با خلوص بالا احساس سفت و سخت حرارتی بهتر و ثبات شیمیایی دارد و یک ماده مؤلفه کمکی عالی برای رشد اپیتاکسیال SIC است.

VeTek Semiconductor به عنوان یک تامین کننده و کارخانه پیشرو در چین با خلوص بالا، محصولات بسیار سفارشی شده را ارائه می دهد، چه مواد باشد و چه اندازه محصول، می تواند برای شما طراحی شود. و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی. ما صمیمانه منتظر تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین هستیم.

فروشگاه‌های تولید نمد صلب با خلوص بالا VeTek Semiconductor: