پشتیبانی از پوشش کاربید Tantalum

عملکرد اصلی نیمه هادی Vetekپوشش کاربید Tantalum (TAC)پشتیبانی برای بهبودمقاومت در برابر حرارت ، مقاومت در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگیاز بستر با پوشش یک لایه از پوشش کاربید Tantalum ، به منظور بهبود صحت و قابلیت اطمینان روند و افزایش عمر خدمات اجزای. این یک محصول پوشش با کارایی بالا است که در زمینه پردازش نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد.

SUPPOR SUPPOR CARBIDE CARBIDE TANTALUM نیمه هادی Vetek دارای سختی Mohs تقریباً 9 ~ 10 است که فقط به الماس دوم است. این مقاومت در برابر سایش بسیار قوی است و می تواند به طور موثری در برابر سایش سطح و ضربه در طول پردازش مقاومت کند ، در نتیجه عمر خدمات اجزای تجهیزات را به طور مؤثر گسترش می دهد. همراه با نقطه ذوب بالای آن در حدود 3880 درجه سانتیگراد ، اغلب برای پوشش اجزای کلیدی تجهیزات نیمه هادی ، مانند پوشش های سطحی سازه های پشتیبانی ، تجهیزات تصفیه حرارتی ، اتاق ها یا واشر در تجهیزات نیمه هادی برای تقویت مقاومت سایش و مقاومت در برابر دمای بالا استفاده می شود.

با توجه به نقطه ذوب بسیار زیاد کاربید تانتالوم در حدود 3880 درجه سانتیگراد ، در فرآیندهای پردازش نیمه هادی مانندرسوب بخار شیمیایی (CVD)وترسوب بخار فیزیکی (PVD)پوشش TAC با مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی می تواند به طور موثری از اجزای تجهیزات محافظت کرده و از خوردگی یا آسیب به بستر در محیط های شدید جلوگیری کند و محافظت مؤثر برای محیط های درجه حرارت بالا در تولید ویفر را فراهم می کند. این ویژگی همچنین تعیین می کند که پشتیبانی از پوشش کاربید تانتالوم نیمه هادی Vetek اغلب در فرآیندهای اچینگ و خورنده استفاده می شود.

پشتیبانی از پوشش کاربید Tantalum همچنین عملکرد کاهش آلودگی ذرات را دارد. در طول پردازش ویفر ، سایش سطح معمولاً آلودگی ذرات را ایجاد می کند که بر کیفیت محصول ویفر تأثیر می گذارد. ویژگی های شدید محصول TAC Coating از سختی نزدیک به 9-10 MOHS می تواند به طور موثری این سایش را کاهش دهد و در نتیجه تولید ذرات را کاهش می دهد. همراه با هدایت حرارتی عالی پوشش TAC (حدود 21 W/m · K) ، می تواند هدایت حرارتی خوبی را در شرایط دمای بالا حفظ کند ، در نتیجه عملکرد و قوام تولید ویفر را تا حد زیادی بهبود می بخشد.

محصولات اصلی پوشش TAC نیمه هادی Vetek شاملبخاری روکش TAC, CVD TAC پوشش قابل حمل, SHASIPTOR چرخش پوشش TACوتقسمت یدکی پوشش TAC، و غیره ، و از خدمات محصول سفارشی پشتیبانی می کند. نیمه هادی Vetek متعهد به ارائه محصولات عالی و راه حل های فنی برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.

پوشش کاربید Tantalum (TAC) در مقطع میکروسکوپی:

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD TAC：