CVD TAC پوشش قابل حمل

Susticor Rotation Coation Coating نقش مهمی در فرآیندهای رسوب درجه حرارت بالا مانند CVD و MBE دارد و یک مؤلفه مهم برای پردازش ویفر در ساخت نیمه هادی است. در میان آنها ،پوشش TACمقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری شیمیایی ، که از دقت و کیفیت بالا در طول پردازش ویفر برخوردار است.

CVD TAC پوشش Crucible معمولاً از پوشش TAC وگرافیتبستر در میان آنها ، TAC یک ماده سرامیکی نقطه ذوب بالا با نقطه ذوب تا 3880 درجه سانتیگراد است. این سختی بسیار بالایی دارد (سختی ویکرز تا 2000 HV) ، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و مقاومت شدید به اکسیداسیون. بنابراین ، پوشش TAC یک ماده مقاوم در برابر درجه حرارت بالا در فناوری پردازش نیمه هادی است.

بستر گرافیت دارای هدایت حرارتی خوبی است (هدایت حرارتی در حدود 21 W/m · K) و ثبات مکانیکی عالی است. این ویژگی تعیین می کند که گرافیت به یک پوشش ایده آل تبدیل می شودبستر.

CVD TAC پوشش Crucible عمدتا در فن آوری های پردازش نیمه هادی زیر استفاده می شود:

تولید ویفر: پوشش نیمه هادی Vetek CVD TAC Crucible دارای مقاومت در برابر دمای بالا عالی (نقطه ذوب تا 3880 درجه سانتیگراد) و مقاومت در برابر خوردگی است ، بنابراین اغلب در فرآیندهای تولید ویفر کلیدی مانند رسوب بخار درجه حرارت بالا (CVD) و رشد اپی توپ استفاده می شود. همراه با پایداری ساختاری عالی محصول در محیط های درجه حرارت فوق العاده بالا ، این اطمینان را می دهد که تجهیزات می توانند برای مدت طولانی در شرایط بسیار سخت پایدار عمل کنند و از این طریق به طور موثری بازده تولید و کیفیت ویفرها را بهبود می بخشند.

روند رشد اپیتاکسیال: در فرآیندهای اپیتاکسیال مانندرسوب بخار شیمیایی (CVD)و پرتو مولکولی Epitaxy (MBE) ، CVD TAC پوشش Crucible نقش اساسی در حمل دارد. پوشش TAC آن نه تنها می تواند خلوص بالای مواد را در دمای شدید و جو خورنده حفظ کند ، بلکه به طور مؤثر از آلودگی واکنش دهنده ها بر روی مواد و خوردگی راکتور جلوگیری می کند و از صحت روند تولید و قوام محصول اطمینان می دهد.

به عنوان تولید کننده و رهبر CVD CVD پیشرو در چین ، نیمه هادی Vetek می تواند محصولات و خدمات فنی سفارشی را با توجه به تجهیزات و الزامات فرآیند شما ارائه دهد. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.

پوشش کاربید Tantalum (TAC) در مقطع میکروسکوپی：

خصوصیات فیزیکی پوشش TAC：

آن نیمه هادی است CVD TAC Coating Crucible Shops