حلقه گرافیتی با پوشش متخلخل کاربید تانتالم (TaC).

ویژگی های محصول

• تجهیزات اصلی:برای کوره های رشد تک کریستال SiC که با فناوری PVT کار می کنند در نظر گرفته شده است.
• کاربرد اصلی:مناسب برای سیستم های میدان حرارتی در رشد کریستال های نیمه هادی SiC نسل سوم.
• پایداری در دمای بالا:پوشش TaC یکپارچگی ساختاری را در دمای فوق العاده بالا حفظ می کند و از عملیات طولانی مدت در محیط های گرمایی نیازمند پشتیبانی می کند.
• حفاظت در برابر خوردگی:لایه متراکم CVD TaC از بستر گرافیت در برابر بخار سیلیکون، گازهای حاوی کربن و سایر گونه های خورنده که در طول رشد SiC با آن مواجه می شوند، محافظت می کند.
• عملکرد میدان حرارتی:پایه گرافیت متخلخل به توزیع گرما و انتقال بخار کمک می کند که به حفظ شرایط رشد پایدار کمک می کند.
• آلودگی کم:مواد اولیه با خلوص بالا و پوشش متراکم، انتشار ناخالصی و ریزش ذرات را محدود می‌کند و از کیفیت کریستالی بهره می‌برد.
• طول عمر بیشتر:لایه TaC مقاومت در برابر اکسیداسیون، سختی سطح و دوام کلی را در دماهای بالا بهبود می بخشد.
• چسبندگی پوشش:فرآیند CVD یک پیوند قوی بین فیلم TaC و بستر گرافیت ایجاد می کند.
• گزینه های سفارشی:ابعاد، جزئیات ساختاری و مشخصات پوشش را می توان برای مطابقت با نیازهای مختلف کوره رشد SiC تنظیم کرد.

مشخصات فنی

برنامه های کاربردی

حلقه گرافیتی متخلخل با پوشش TaC VETEK عمدتاً در موارد زیر استفاده می شود:

• رشد تک کریستال SiC از طریق PVT
• تولید نیمه هادی نسل سوم
• تولید بستر SiC
• سیستم های میدان حرارتی در کوره های رشد کریستال
• پردازش نیمه هادی با دمای بالا
• اجزای پیشرفته گرافیت منطقه گرم

سوالات متداول

1. حلقه گرافیتی با پوشش متخلخل TaC چیست؟

این یک جزء میدان حرارتی برای کوره های رشد کریستال SiC است. این ساختار گرافیت متخلخل را با پوشش CVD TaC ترکیب می کند تا مدیریت حرارتی و محافظت در برابر خوردگی در دمای بالا را ارائه دهد.

2. چرا از پوشش TaC برای رشد کریستال SiC استفاده کنیم؟

TaC پایداری در دمای بالا و مقاومت شیمیایی را فراهم می کند. از گرافیت در برابر حمله بخار سیلیکون محافظت می کند و به حفظ محیط رشد تمیز و پایدار کمک می کند.

3. ساختار گرافیت متخلخل چه چیزی را ارائه می دهد؟

طراحی متخلخل از توزیع حرارتی و انتقال گاز در داخل کوره پشتیبانی می‌کند که به شرایط رشد کریستال SiC پایدار کمک می‌کند.

4. آیا VETEK می تواند حلقه های گرافیتی با پوشش TaC سفارشی تولید کند؟

بله. VETEK سفارشی سازی را بر اساس نقشه های مشتری، طرح های کوره و نیازهای فرآیند، از جمله ابعاد، پیکربندی بستر و پارامترهای پوشش ارائه می دهد.