اخبار

در فرآیندهای نیمه رسانا با دمای بالا، جابجایی، پشتیبانی و عملیات حرارتی ویفرها به یک جزء حمایتی ویژه - قایق ویفر بستگی دارد. با افزایش دمای فرآیند و افزایش پاکیزگی و الزامات کنترل ذرات، قایق های ویفر کوارتز سنتی به تدریج مسائلی مانند عمر کوتاه، نرخ تغییر شکل بالا و مقاومت در برابر خوردگی ضعیف را آشکار می کنند.

برای تولید در مقیاس صنعتی بسترهای کاربید سیلیکون، موفقیت یک دوره رشد تنها هدف نهایی نیست. چالش واقعی در حصول اطمینان از این است که کریستال هایی که در دسته ها، ابزارها و دوره های زمانی مختلف رشد می کنند، سطح بالایی از ثبات و تکرارپذیری در کیفیت را حفظ می کنند. در این زمینه، نقش پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) فراتر از حفاظت اولیه است - این یک عامل کلیدی در تثبیت پنجره فرآیند و محافظت از عملکرد محصول می شود.

رشد PVT کاربید سیلیکون (SiC) شامل چرخه حرارتی شدید (دمای اتاق بالای 2200 ℃) است. تنش حرارتی بسیار زیاد ایجاد شده بین پوشش و بستر گرافیت به دلیل عدم تطابق در ضرایب انبساط حرارتی (CTE) چالش اصلی تعیین طول عمر پوشش و قابلیت اطمینان کاربرد است.

در فرآیند رشد کریستال PVT کاربید سیلیکون (SiC)، پایداری و یکنواختی میدان حرارتی به طور مستقیم نرخ رشد کریستال، تراکم نقص و یکنواختی مواد را تعیین می‌کند. به عنوان مرز سیستم، اجزای میدان حرارتی ویژگی‌های ترموفیزیکی سطحی را نشان می‌دهند که نوسانات جزئی آن در شرایط دمای بالا به طور چشمگیری تقویت می‌شود و در نهایت منجر به ناپایداری در سطح مشترک رشد می‌شود.

در فرآیند رشد کریستال‌های کاربید سیلیکون (SiC) از طریق روش حمل و نقل فیزیکی بخار (PVT)، دمای بسیار بالای 2000 تا 2500 درجه سانتی‌گراد یک "شمشیر دو لبه" است - در حالی که تصعید و حمل و نقل مواد منبع را هدایت می‌کند، همچنین به طور چشمگیری باعث تشدید عناصر فلزی به ویژه در میدان ناخالصی می‌شود. اجزای معمولی گرافیت منطقه گرم هنگامی که این ناخالصی ها وارد سطح مشترک رشد می شوند، به طور مستقیم به کیفیت هسته کریستال آسیب می رسانند. این دلیل اساسی است که چرا پوشش‌های کاربید تانتالیوم (TaC) به یک "گزینه اجباری" به جای "انتخاب اختیاری" برای رشد کریستال PVT تبدیل شده‌اند.

در Veteksemicon، ما روزانه این چالش‌ها را بررسی می‌کنیم و متخصص در تبدیل سرامیک‌های اکسید آلومینیوم پیشرفته به راه‌حل‌هایی هستیم که مشخصات دقیق را برآورده می‌کنند. درک درستی روش‌های ماشینکاری و پردازش بسیار مهم است، زیرا رویکرد اشتباه می‌تواند منجر به ضایعات پرهزینه و خرابی قطعات شود. بیایید تکنیک‌های حرفه‌ای را که این امر را ممکن می‌سازد، بررسی کنیم.