اخبار

بیاموزید که چگونه حلقه‌های گرافیتی با پوشش کربن پیرولیتیک (PyC) پایداری حرارتی را بهبود می‌بخشند، آلودگی را کاهش می‌دهند و عمر اجزا را در رشد کریستال SiC، اپیتاکسی، CVD و فرآیندهای نیمه‌رسانا در دمای بالا افزایش می‌دهند.

کشف کنید که چگونه پوشش CVD TaC باعث بهبود رشد کریستال SiC و تولید نیمه هادی با پایداری حرارتی فوق العاده بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مهار ناخالصی و عملکرد برتر در کاربردهای MOCVD و اپیتاکسی می شود.

نگاهی به اجزای کلیدی Aixtron G10 برای سیستم‌های اپیتاکسی SiC با دمای بالا بیندازید. ما قطعات گرافیتی با پوشش CVD SiC، اجزای پوشش TaC و ساختارهای میدان حرارتی را پوشش می‌دهیم - و اینکه چگونه به پایداری فرآیند، کنترل خلوص، و بازده ویفر در تولید نیمه‌رساناهای پیشرفته کمک می‌کنند.