اخبار صنعت

فناوری اچینگ در ساخت نیمه هادی اغلب با مشکلاتی از قبیل اثر بارگذاری ، اثر میکرو شیار و اثر شارژ ، که بر کیفیت محصول تأثیر می گذارد ، روبرو می شود. راه حل های بهبود شامل بهینه سازی چگالی پلاسما ، تنظیم ترکیب گاز واکنش ، بهبود کارآیی سیستم خلاء ، طراحی طرح لیتوگرافی معقول و انتخاب مواد ماسک اچینگ مناسب و شرایط فرآیند است.

پخت و پز فشار داغ روش اصلی برای تهیه سرامیک SIC با کارایی بالا است. روند پخت و پز داغ شامل: انتخاب پودر SIC با خلوص بالا ، فشار دادن و قالب گیری در دمای بالا و فشار زیاد و سپس پخت و پز است. سرامیک های SIC تهیه شده با این روش مزایای خلوص بالا و چگالی بالا را دارند و به طور گسترده در دیسک های سنگ زنی و تجهیزات تصفیه حرارتی برای پردازش ویفر مورد استفاده قرار می گیرند.

روش‌های رشد کلیدی کاربید سیلیکون (SiC) شامل PVT، TSSG و HTCVD است که هر کدام مزایا و چالش‌های متمایزی دارند. مواد میدان حرارتی مبتنی بر کربن مانند سیستم‌های عایق، بوته‌ها، پوشش‌های TaC و گرافیت متخلخل با ایجاد ثبات، هدایت حرارتی و خلوص، رشد کریستال را افزایش می‌دهند که برای ساخت و کاربرد دقیق SiC ضروری است.