اخبار صنعت

تجزیه و تحلیل عمیق علل زرد شدن لبه و لایه برداری پوشش کاربید سیلیکون بر روی گیرنده های گرافیت اپیتاکسی MOCVD. VeTek با کنترل دقیق میزان رسوب اولیه CVD و میدان جریان، افزایش بازده پوشش از 50٪ به 90٪ و افزایش عمر مفید قطعات گرافیتی با خلوص بالا، ریز استرس را حذف کرد.

VeTek Semi با توجه به تغییر ضخامت 1.4 درصدی ضخامت جیب به جیب در گیره‌های گرافیت اپیتاکسی سیلیکونی چند جیبی، صافی گیره را به <0.08 میلی‌متر بهبود داد و تغییرات را به 0.69 درصد از طریق شبیه‌سازی میدان جریان CVD و پوشش فوق‌العاده دقیق SiC کاهش داد.

بیاموزید که چگونه Vetek ترک های شعاعی را در گیرنده های گرافیت پوشش داده شده با SiC سایز بزرگ MOCVD حذف کرد. طراحی مجدد بافر تنش ساختاری و تطبیق CTE عمر سرویس را تا 300% + افزایش داد.